[实用新型]氩气双储罐管道连通装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，具体为一种氩气双储罐管道连通装置。

背景技术

目前半导体在人们的生活中运用非常广泛，特别是在电子电力领域更是离不开半导体。半导体生产中需要用到氩气作为单晶、多晶生产的保护气体，氩气一般需要有储存罐保存，但现有技术的单个储存罐在提供氩气时往往会出现气压不足的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种氩气双储罐管道连通装置，以解决现有技术的氩气储存装置在输送氩气时出现气压不足的问题。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐，其特征在于：还包括有两个分别带进、出气口的冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却池的进气口对应一一连通，两个冷却池的出气口上分别安装有出气管，两路出气管合为一路管道，合路管道上还安装有压力阀。

本实用新型结构简单，易于安装和日常维护，通过双储罐、双冷却池中的氩气合为一路交替输出，可以有效地解决输出的氩气气压不够的问题，同时通过在合路管道上安装压力阀，可实时监测合路管道中输出氩气的压力，大大提高了半导体的生产效率，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

如图1所示。氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐1，还包括有两个分别带进、出气口的冷却池2，一个储罐通过输气管3和一个冷却池的进气口对应一一连通，两个冷却池2的出气口上分别安装有出气管4，两路出气管4合为一路管道，合路管道5上还安装有压力阀6。