[实用新型]一种坩埚喷涂加热装置有效

专利信息
申请号: 201020213702.5 申请日: 2010-06-03
公开(公告)号: CN201702081U 公开(公告)日: 2011-01-12
发明(设计)人: 吴华兵 申请(专利权)人: 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
主分类号: B05C7/02 分类号: B05C7/02;B05C9/10
代理公司: 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 代理人: 施秀瑾
地址: 332005 江西省九江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 喷涂 加热 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种坩埚喷涂加热装置,特别是一种与GT铸锭炉配套使用的GT坩埚喷涂台。

背景技术

坩埚喷涂是将氮化硅粉用纯水调制成水剂,用压缩空气经喷枪均匀喷涂在坩埚内表面,水分快速蒸发,留下氮化硅粉附着在坩埚内壁,GT坩埚喷涂台是与GT铸锭炉配套,材质为硅胶加热板,加热板为硅胶材质,使用时间不长,加热板破损严重,而且适用40℃的低温氮化硅粉,而用到高温氮化硅粉喷涂时,温度降低很快,要等待温度升起来才能够继续喷涂,喷涂一次需要4~5个小时,耗时长;硅胶加热板为易损件,破损率高,价格昂贵而且不易采购。

发明内容

本实用新型其目的就在于提供一种坩埚喷涂加热装置,具有操作简单方便、成本低、加热时间短的特点。

实现上述目的而采取的技术方案,包括加热板和控制装置,所述的加热板为不锈钢加热板,所述的控制装置包括可控硅调压器PAC16P,所述的可控硅调压器PAC16P经可控硅SCR1接入电源,所述的可控硅调压器PAC16P输出接控制线圈KM。

与现有技术相比本装置具有以下优点:

由于采用了不锈钢加热板和可控硅调压器控制的结构设计,因而具有操作简单方便、成本低、加热时间短的特点。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

附图为控制装置电原理示意图。

具体实施方式

包括加热板和控制装置,控制装置如附图所示,所述的加热板为不锈钢加热板,所述的控制装置包括可控硅调压器PAC16P,所述的可控硅调压器PAC16P经可控硅SCR1接入电源,所述的可控硅调压器PAC16P输出接控制线圈KM。

所述的不锈钢加热板包括四块侧板和一块底板,所述的四块侧板可以打开三边侧板。

操作方法:打开三边侧加热板,放入坩埚,合上三边侧加热板,合上开关QFO,启动加热系统,调整电流旋纽至30A,加热1小时左右,用测温枪测试坩埚内壁温度,达到70℃就可以喷涂了。喷涂完后,等待20分钟,让坩埚内壁的水分充分挥发完,退出加热系统,关断电源,取出坩埚。

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