[实用新型]图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置无效
| 申请号： | 201020199493.3 | 申请日： | 2010-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN201762092U | 公开（公告）日： | 2011-03-16 |
| 发明（设计）人： | 兰红波;丁玉成 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 济南圣达专利商标事务所有限公司 37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图型化 电极 诱导 微波 固化 制作 纳米 结构 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置，包括：成形系统；成形材料；基底；纳米结构诱导系统；微波固化系统，其特征是，所述成形系统由背板、支撑、图型化电极组成；成形材料均匀旋涂在基底上；基底是P型硅片；纳米结构诱导系统以图型化电极为直流电场的阳极，基底为直流电场的阴极，图型化电极位于基底的上方，其阳极与图型化电极相连，阴极与基底相连。
2.如权利要求1所述的图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置，其特征是，所述直流电场的电压为20V-60V。
3.如权利要求1所述的图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置，其特征是，所述微波固化系统的工作频率2. 45 GHz，输出功率100W-1000W，功率输出方式为连续式或脉冲式，固化时间20-100s，固化温度60-130℃。
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