[实用新型]一种用于制造平板显示器的夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于制造平板显示器的夹具，特别涉及一种镀膜机台用的夹具。

背景技术

近年来，由于重量轻、体积小等优点，平板显示器尤其是液晶显示器(LCD)和有机发光显示器(OLED)在移动手机、数码相机、笔记本电脑以及平板电视等显示终端中被广泛地使用。由于具有优于LCD的亮度、视角性能、响应速度和显示效果，OLED被公认为下一代平板显示器，特别是有源矩阵有机发光显示器(AMOLED)的优点更为突出。AMOLED通过在薄膜晶体管(TFT)基板上形成OLED器件实现发光显示功能。TFT基板的制造要在玻璃基板上制作薄膜晶体管阵列，其工艺需要在玻璃基板上经过多道掩模制程形成多层结构最终构成TFT阵列。

图1a和图1b是现有技术中制造TFT阵列用镀膜机台的夹具示意图。如图所示，夹具1包括夹头1-1、夹颈1-2以及固定基座1-3，夹头1-1与设备基板承载平台间形成夹槽1-4以夹持一夹持物，如玻璃基板。两夹头侧缘1-5相互平行且夹头顶面为矩形。图2为现有夹具工作示意图，如图所示，镀膜机台工作过程中如溅镀时材料会在夹头边缘尤其是夹头前端沉积形成沉积瘤2-1，经长时间使用沉积瘤2-1体积过大时，夹具夹持玻璃基板2-2时在沉积瘤处会对玻璃基板造成挤压碰撞，受力不均将导致玻璃基板缺角甚至破片，如图所示破片处2-3。

发明内容

基于上述问题，本实用新型的目的是提供一种镀膜机台用的夹具，以解决玻璃基板缺角及破片的问题。

本实用新型的目的是通过如下技术方案予以实现的：

本实用新型提供了一种镀膜机台用的夹具，包括夹头、固定基座和夹颈，夹颈用于连接夹头和固定基座，并在夹头与设备基板承载平台间形成夹槽。上述夹头下方还有一夹舌，该夹舌与夹头形成叠层阶梯状结构，夹头前端突出于夹舌前端。夹头前端的上方具有一翘起部。夹头的侧缘为弧线形，两夹头侧缘由夹头前端至夹头后端的方向呈收缩状。夹头侧缘可以与夹舌侧缘平齐，也可以突出于相邻的夹舌侧缘。夹头前端下缘、夹舌前端下缘以及夹头前端边角均可为圆角。

本实用新型在夹头前端增加翘起部，以引导镀膜材料朝背离玻璃基板的方向沉积，同时增设夹舌，使玻璃基板与夹头前端间形成一空隙，以容纳向玻璃基板方向沉积的沉积瘤，通过以上技术方案减少了沉积瘤对玻璃基板的接触挤压，避免了玻璃基板缺角与破片的风险。

附图说明

图1a现有技术用于镀膜机台的夹具的侧视图；

图1b现有技术用于镀膜机台的夹具的俯视图；

图2现有夹具夹持玻璃基板时造成破片的示意图；

图3a本实用新型实施例1用于镀膜机台的夹具的侧视图；

图3b本实用新型实施例1用于镀膜机台的夹具的俯视图；

图4本实用新型实施例1的工作效果示意图；

图5a本实用新型实施例2用于镀膜机台的夹具的侧视图；

图5b本实用新型实施例2用于镀膜机台的夹具的俯视图；

附图标记说明如下：

夹具1 10                   夹头1-1 3-1 5-1

夹颈1-2 3-2 5-2            固定基座1-3 3-3 5-3

夹槽1-4                    夹头前端3-5 5-5

夹头侧缘1-5 3-12 5-12      夹头后端3-11 5-11

夹头前端边角3-13 5-13      夹头前端下缘3-6 5-6

翘起部3-7 5-7              夹舌3-8 5-8

夹舌前端3-9 5-9            夹舌前端下缘3-10 5-10

夹舌侧缘5-14               空隙4-3

沉积瘤2-1 4-1              玻璃基板2-2 4-2

破片处2-3

具体实施方式

为让本实用新型的上述内容更明显易懂，下文特举较佳实施例，并结合附图作详细说明如下。

实施例1