[发明专利]一种光刻照明光学系统无效
| 申请号： | 201010619059.0 | 申请日： | 2010-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN102566294A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 胡斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00;G02B27/09;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 照明 光学系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻的照明光学系统，包括光源，积分棒，以及中继透镜，其特征在于：还包括一个均匀性增强元件。
2.如权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于所述均匀性增强元件放置在所述光源和所述积分棒之间。
3.如权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于所述均匀性增强元件紧贴所述积分棒入射端。
4.如权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于所述均匀性增强元件为衍射光学元件。
5.如权利要求4所述的照明光学系统，其特征在于所述衍射光学元件为微透镜阵列或复眼透镜。
6.如权利要求4或5所述的照明光学系统，其特征在于所述照明光学系统包括两个以上的均匀性增强元件，组合使用。
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