[发明专利]蓝光光盘母盘加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蓝光光盘生产系统，尤其涉及一种用于制作蓝光光盘的母盘的加热装置。

背景技术

随着光存储媒介信息容量的不断扩大，其生产光存储媒介的生产技术也蓬勃发展，蓝光光盘(Blue-ray Disc，缩写为BD)是一种超大容量的光盘存储技术，随着光盘技术的不断创新，高密度光盘不断涌出，已经提出的一种蓝光光盘，其具有单面单层大约25GB(Gbytes)的记录容量，或者具有单面双层大约50GB的记录容量。在这种蓝光光盘中，为了减小用于记录和重放的光束的光点直径，会将光源波长设为405nm蓝光，物镜的数值孔径NA设为0.85的大数值。在蓝光光盘中，光点面积可被减小至DVD的光点面积的大约1/5。此外，由于角度误差(称为倾斜余量，即自光盘表面和光束光轴之间形成的90°角起允许的倾斜角度)随着物镜数值孔径NA的增加而减小，因此，覆盖有信息层的覆盖层薄至0.1mm。对于只读光盘，信息层是上面形成有凹坑的反射层或半透明反射层。对于可记录光盘，信息层是上面形成有沟槽并且可记录相位改变等的层。

图1A显示了单层蓝光光盘的结构，用于制作光盘的基片1由聚碳酸脂制成，其具有1.1mm的厚度。母盘(master disc)的凹坑通过注塑成型工序被转印到基片1的表面上。基片1涂覆有反射膜2。用作光透射层且厚度为0.1mm的覆盖层3被设置到反射膜2上。图1B示出了双层蓝光光盘的结构。以与单层结构类似地方法，图1B示出具有两层信息层的光盘，这两层信息层每层都具有这样一种结构：在1.1mm厚的基片1上形成用作全反射膜的反射膜2，在称为中间层的形成在反射膜2上的光透射层7上形成半透明反射膜8，再将覆盖层3设置到该半透明反射膜8上。当从激光光束的入射方向(硬质涂层6一侧)看时，反射膜2形成在100μm的深度处，半透明反射膜8形成在75μm的深度处。对于图1B示出的单面双层蓝光光盘，当从激光光束的入射方向看时，位于100μm的深度处的反射膜2被作为参考层(第0层记录层，称为L0层)，在位于75μm的深度处添加的记录层被作为第一记录层(称为L1层)。

在上述蓝光光盘的生产中，首先需要制造母盘，在母盘基片表面涂覆抗蚀剂，通过激光光束曝光凹坑或沟槽图案，通过显影形成具有相应于抗蚀剂上的凹坑或沟槽的凹坑和凸起部分的盘形母盘，利用该盘形母盘通过电镀或溅镀形成金属制的母盘，利用该母盘采用注塑成型工序形成光盘基片，并在光盘基片上形成薄膜记录层。因此，母盘是制作光盘的关键，关系到转印形成的光盘的记录层的质量，对母盘制造的要求最严格。现有的母盘的一种制造过程是：首先，在用于制作母盘的玻璃基片的表面上利用旋涂方法等涂覆碳化反射防反射层，再对旋涂有碳化反射防反射层的玻璃基片进行硬烘烤，冷却后旋涂再在表面涂覆一定厚度的光刻胶，并进入软烘烤工序，冷却后进行激光刻录、显影、金属化工序完成母盘的制作。其制造过程中涉及到硬烘烤和软烘烤的工序，硬烘烤装置中的加热板温度要求达到250度左右，并控制一定时间使碳化反射防反射层中的残留物蒸发，同时此工序，也使碳化反射防反射层中不易产生气泡等，使其更容易形成稳定的物质；软烘烤加热板温度要求达到80～100度，并控制一定时间使光刻胶中的残留物蒸发，同时此工序，也使光刻胶中不易产生气泡等，使其更容易形成稳定的物质，由于加热温度较高，玻璃基片直接放到加热板上加热时，与温度很高的加热板直接接触，碳化反射防反射层或光刻胶容易因为热胀冷缩导致不均匀，影响母盘成品质量，从而影响光盘的成品质量，因此，急需一种优化的具有较好加热效果的蓝光光盘母盘加热装置来解决上述缺陷，提高光盘成品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种加热效果好、能提高成品质量的蓝光光盘母盘加热装置。