[发明专利]晶片抛光装置

权利要求书

1.一种晶片抛光装置，其特征在于，包括

带有抛光面的旋转抛光台(101)，能绕其轴线旋转；

用于固定保持所述晶片(112)的晶片保持件(102)；

通过所述晶片保持件(102)将所述晶片(112)压向所述旋转抛光台(101)抛光面的加压装置(103)；

用于驱动所述晶片保持件(102)自旋及产生径向往复运动的驱动机构(104)。

2.根据权利要求1所述的晶片抛光装置，其特征在于，所述晶片保持件(102)的数量为3-5个，每个晶片保持件(102)均匀粘结多个所述晶片(112)。

3.根据权利要求1所述的晶片抛光装置，其特征在于，所述加压装置(103)为砝码。

4.根据权利要求1所述的晶片抛光装置，其特征在于，所述驱动机构(104)包括主电机(108)、偏心轴(107)、第一机械臂(109)、第二机械臂(106)、自旋电机(110)、自旋胶轮(111)和从动胶轮(105)，主电机(108)通过偏心轴(107)连接第一机械臂(109)和第二机械臂(106)，第一机械臂(109)一端连接偏心轴(107)，另一端通过自旋电机(110)连接自旋胶轮(111)，第二机械臂(106)一端连接偏心轴(107)，另一端连接从动胶轮(105)，自旋胶轮(111)和从动胶轮(105)分别置于所述晶片保持件(102)的两端，与晶片保持件(102)紧密接触。