[发明专利]放射线检测器

说明书

技术领域

本发明涉及放射线检测器。本发明尤其涉及这样的放射线检测器：其包括按矩阵状排列的多个像素，累积由于放射线照射所产生的电荷，并且检测所累积的电荷量作为代表图像的信息。

技术背景

近年来，采用FPD(平板检测器)等的放射线检测器(放射线检测元件)的放射线图像成像装置(放射线图像检测装置)已经投入到实际使用。这样的放射线检测器具有设置在TFT(薄膜晶体管)有源矩阵基板上的X射线敏感层，并且能够直接将X射线信息转换成数字数据。与先前的成像板相比，这样的FPD具有如下的优点：可以更即时地检查图像并且还可以检查视频图像。因此，FPD得到了快速引入。

对于这样的放射线检测元件，提出了各种类型。例如，存在在半导体层中直接将放射线转换为电荷并且累积电荷的直接转换型放射线检测元件。还存在这样的间接转换型放射线检测元件：其首先用诸如CsI:T1、GOS(Gd₂O₂S:Tb)等的闪烁器将放射线转换成光，然后在半导体层中将转换后的光转换成电荷，并且累积电荷。

已知这样的技术：使用检测总放射线照射量的AEC传感器来控制照射放射线的放射线源(例如，参见日本特许4217506号公报)。在日本特许4217506号公报中所描述的技术中，在第一放射线转换元件(放射线检测元件)之间的间隙中形成AEC传感器(第二放射线转换元件)。在日本特许4217506号公报中所描述的技术中，在与形成第一放射线检测元件的基板相同的基板上形成AEC传感器。

根据日本特许4217506号公报中所描述的技术，AEC传感器并入在按矩阵状排列第一放射线检测元件(它们是昂贵的部件)的基板中。因此，当在AEC传感器或其线路中出现制造缺陷时，各个基板就变为有缺陷的基板。即，当在AEC传感器或其线路中出现制造缺陷时，即使在按矩阵状排列的第一放射线转换元件中未出现制造缺陷，也需要废弃各基板。因此，在日本特许4217506号公报中所描述的技术中，可能格外地增加了制造成本。当完成了基板的生产时，对并入了AEC传感器并且按矩阵设置有第一放射线转换元件的基板执行发货检查。由于这个原因，通过下面的表达式可以代表基板的成品率。

成品率＝第一放射线转换元件的成品率×AEC传感器的成品率

发明内容

本发明提供了可以降低制造成本的放射线检测器。

本发明的第一方面是一种放射线检测器，该放射线检测器包括：波长转换单元，其将所照射的具有第一波长的放射线转换成具有第二波长的放射线；第一基板，其具有第一表面和不同于所述第一表面的第二表面；多个放射线检测像素，其按矩阵状排列在所述第一表面上，累积由于具有所述第二波长的放射线的照射而产生的电荷，并且包括用于读出所累积的电荷的开关元件；多条扫描线，其设置在所述第一表面上，对设置在各放射线检测像素中的各开关元件进行开关的控制信号流过所述多条扫描线；多条信号线，其设置在所述第一表面上，根据各开关元件的开关状态，与在各放射线检测像素中累积的电荷相对应的电信号流过所述多条信号线；以及第二基板，其设置在所述第一基板的所述第二表面上，包括多个放射线照射检测传感器，所述多个放射线照射检测传感器由于照射到所述第一表面上并且从所述第二表面出射的具有所述第二波长的放射线的照射而产生电荷。

要注意的是，放射线照射检测传感器可以设置在第二基板的一部分上，或者可以设置在第二基板的整个表面上。

根据本发明的第一方面，放射线检测像素和放射线照射检测传感器分别设置在不同的基板上。因此，在第一方面中，放射线检测像素的成品率和放射线照射检测传感器的成品率可以彼此独立。因此，在第一方面中，当在放射线照射检测传感器中出现制造缺陷时，仅第二基板可能变为有缺陷的基板，而第一基板不变为有缺陷的基板。即，在第一方面中，即使在放射线照射检测传感器中出现制造缺陷，也不废弃按矩阵状排列有多个放射线检测像素的第一基板。

因此，根据第一方面，可以降低制造成本。

根据第一方面，放射线照射检测传感器不设置在放射线检测像素之间。因此，与AEC传感器(第二放射线转换元件)形成在第一放射线转换元件(放射线检测元件)之间的间隙中的现有技术相比，在第一方面中可以扩大放射线检测像素的有效检测区域。因此，根据第一方面，可以改善本示例性实施方式中的放射线检测精度。