[发明专利]贴膜方法及贴膜设备

权利要求书

1.贴膜方法，其特征在于，利用滚压胶膜的滚轮驱动胶膜卷转动。

2.根据权利要求1所述的贴膜方法，其特征在于，利用可转动的滚轮压靠在胶膜上移动，滚压覆盖在晶圆表面的胶膜使其紧密贴附在晶圆上；滚轮压靠在胶膜上移动时，受摩擦力作用而转动；滚轮与胶膜卷同步移动且持续接触，滚轮驱动胶膜卷转动；胶膜卷在转动同时在晶圆上方移动，胶膜卷转动时不断放出胶膜，胶膜卷移动使放出的胶膜覆盖在晶圆上。

3.贴膜设备，其特征在于，包括支架板和第一驱动装置；支架板上安装有可转动的滚轮和用于放置胶膜卷的支撑轴；第一驱动装置驱动支架板移动。

4.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，支架板上安装有制动装置，制动装置用于阻止滚轮转动。

5.根据权利要求4所述的贴膜设备，其特征在于，所述制动装置为气缸，气缸设置有可伸出或缩回的输出杆，滚轮位于输出杆的移动方向上；输出杆伸长时可与滚轮接触，阻止滚轮转动。

6.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，还包括夹膜装置，所述夹膜装置可移动地安装在支架板上，夹膜装置可与滚轮相配合夹持住胶膜。

7.根据权利要求6所述的贴膜设备，其特征在于，所述夹膜装置为弧形板，弧形板通过第二驱动装置驱动移动，滚轮位于弧形板的移动路线上。

8.根据权利要求7所述的贴膜设备，其特征在于，所述的第二驱动装置为气缸，弧形板与气缸的输出杆连接。

9.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述支架板上还安装有收膜轴，所述收膜轴通过第二转动装置与滚轮连接，滚轮转动可驱动收膜轴转动。

10.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述的支架板数目为两个，平行设置；两个支架板上均设置有导向槽，支撑轴可沿导向槽移动。

11.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述驱动装置为电机；电机通过第一传动装置与支架板连接。

12.根据权利要求11所述的贴膜设备，其特征在于，所述第一传动装置为丝杆，支架板与丝杠螺纹配合。

13.根据权利要求12所述的贴膜设备，其特征在于，还包括底座板，电机安装于底座板下表面上，支架板上设置有螺母，螺母与丝杆螺纹配合。

14.根据权利要求11、12或13所述的贴膜设备，其特征在于，所述的底座板上表面设置有导轨，支架板上设置有滑块与导轨相配合。