[发明专利]一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201010586661.9 | 申请日： | 2010-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN102021513A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;陈锋光;孙丽丽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/38 |
| 代理公司： | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人： | 张文忠;任汉平 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基体 表面 韧性 氧化 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层，其特征是：由面心立方结构的纳米晶AlCrCN颗粒嵌入纳米厚度的类金刚石碳的网格中形成复合涂层，所述的纳米晶AlCrCN颗粒的直径为5纳米～50纳米，类金刚石碳的网格的厚度为1纳米～5纳米，Al原子与Cr原子的摩尔比大于1。
2.根据权利要求1所述的一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层，其特征是：所述的涂层的纳米压痕硬度值为20GPa以上，与钢球对磨的摩擦系数为0.2以下。
3.如权利要求1所述的一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层的制备方法，其特征是：包括如下步骤：
步骤1：通过线性阳极层离子源向镀膜腔体内通入氩气，利用电离的氩离子刻蚀基体表面；
步骤2：通过线性阳极层离子源向镀膜腔体内通入氩气和氮气，开启阳极层离子源和真空阴极电弧制备CrN过渡层或者TiN过渡层；
步骤3：通过线性阳极层离子源向镀膜腔体内通入氩气、氮气以及C2H2或CH4，保持氩气分压在0.5Pa～1Pa，氮气分压在0.3Pa～3Pa，C2H2或CH4分压在0.5Pa～3Pa，并控制C含量和C能量，腔体内温度控制在300℃～500℃，阴极电弧源为CrAl合金靶，靶材的Al原子与Cr原子的摩尔比大于1，弧流为55A～80A，基体脉冲偏压为-150V～-350V，制备nc-AlCrCN/a-C复合涂层。
4.根据权利要求3所述的一种基体表面的高韧性抗氧化减磨涂层的制备方法，其特征是：所述的步骤3中，通过控制C含量和C能量，首先形成AlCrCN固溶体作为AlCrCN过渡层，然后形成nc-AlCrCN/a-C复合涂层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010586661.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
