[发明专利]气体纯化装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种针对惰性气体的气体纯化装置。

背景技术

在一些工业领域中，往往需要高纯惰性气体，如氮气、氩气或者两者的混合气。如光电企业所需要的灯泡氩，所需纯度为微氧≦1ppm，露点≦-70℃，总烃≤1ppm，氢气≦1ppm。经常规方法（如深冷法）制取的气体一般含有一些活性杂质气体，如：氧气、氢气、水和烃类等。因此需要对制取的气体进行纯化。

发明内容

本发明的目的是提供一种工艺简单、操作简便、可靠性高的气体纯化装置。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种气体纯化装置，具有进气口、出气口，所述的进气口与气源相连接，所述的气体纯化装置包括通过管道依次连通的加热装置、除烃反应器、除氧反应器、冷却器、干燥吸附器，所述的加热装置、所述的除烃反应器、所述的除氧反应器、所述的冷却器、所述的干燥吸附器均具有进气端和出气端，所述的加热装置的进气端与所述的进气口相连通，所述的加热装置的出气端与所述的除烃反应器的进气端相连通，所述的除烃反应器的出气端与所述的除氧反应器的进气端相连通，所述的除氧反应器的出气端与所述的冷却器的进气端相连通，所述的冷却器的出气端与所述的干燥吸附器的进气端相连通，所述的干燥吸附器的出气端与所述的出气口相连通；所述的除烃反应器中装填有CHO型脱烃剂，所述的除氧反应器中装填有高效催化剂。

优选的，连接所述的加热装置与所述的除烃反应器的管道、连接所述的除烃反应器与所述的除氧反应器的管道上设置有保温材料。

优选的，所述的管道与所述的加热装置、所述的除烃反应器、所述的除氧反应器、所述的冷却器、所述的干燥吸附器均采用螺纹或卡套连接。

优选的，所述的干燥吸附器的出气端连接有流量计和出气阀。

优选的，所述的冷却器为盘管冷却器。

优选的，所述的干燥吸附器中填充优先吸附水分及二氧化碳的分子筛。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：本发明工艺简单、操作简便、可靠性高，可获得小气量的高纯度气体，具有较大的推广价值。

附图说明

附图1为本发明的气体纯化装置的示意图。

以上附图中：1、进气口；2、出气口；3、管道；4、加热装置；5、除烃反应器；6、除氧反应器；7、盘管冷却器；8、干燥吸附器；9、流量计；10、出气阀；11、进气阀。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本发明作进一步描述。

实施例一：参见附图1所示。

一种气体纯化装置，具有进气口1、出气口2，进气口1与气源相连接，进气口1处安装有进气阀11。气体纯化装置包括通过管道3依次连通的加热装置4、除烃反应器5、除氧反应器6、盘管冷却器7、干燥吸附器8、流量计9、出气阀10；管道3与加热装置4、除烃反应器5、除氧反应器6、盘管冷却器7、干燥吸附器8、流量计9均采用螺纹或卡套连接。除烃反应器5、除氧反应器6和干燥吸附器8均为不锈钢管制。

加热装置4、除烃反应器5、除氧反应器6、盘管冷却器7、干燥吸附器8、流量计9均具有进气端和出气端，加热装置4的进气端与进气口1相连通，加热装置4的出气端与除烃反应器5的进气端相连通，除烃反应器5的出气端与除氧反应器6的进气端相连通，除氧反应器6的出气端与盘管冷却器7的进气端相连通，盘管冷却器7的出气端与干燥吸附器8的进气端相连通，干燥吸附器8的出气端与流量计9的进气端相连通，流量计9的出气端通过出气阀10与出气口2相连通。连接加热装置4与除烃反应器5的管道、连接除烃反应器5与除氧反应器6的管道上设置有保温材料。

原料气（例如氮气、氩气或二者的混合气体）经进气口1进入加热装置4，被加热到350℃以上后进入除烃反应器5中，除烃反应器5中装填有CHO型脱烃剂，借助CHO脱烃剂的作用，彻底脱除原料气中的烃类杂质和微量氢气。化学反应式为：

4MnO₂+CH₄=4MnO+2H₂O+CO₂