[发明专利]粉末镀膜设备无效
| 申请号： | 201010575912.3 | 申请日： | 2010-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102534520A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 冯彬;张宁;刘大为;王维;李伟;孟凡利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;B22F1/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粉末 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种粉末镀膜设备，其特征在于：包括真空室、热丝电极、磁控靶、多工位转靶、离子枪及反弹振动装置，所述真空室内反弹振动装置的样品盘上方设置热丝电极、磁控靶、多工位转靶及离子枪，离子枪的离子束通过多工位转靶的靶面反射至样品盘，磁控靶的中心线交于样品盘。
2.根据权利要求1所述的粉末镀膜设备，其特征在于：所述的反弹振动装置包括振荡器、拉紧装置、前后摆动架、第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、平移架及左右摆动架，所述前后摆动架通过第二销轴及第二滑块轴连接于左右摆动架上的一端，左右摆动架通过第一销轴及第一滑块轴连接于平移架上，第一驱动装置与平移架上的第一滑块连接，第二驱动装置与左右摆动架上的第二滑块连接，第三驱动装置与平移架连接，振动器通过拉紧装置连接于前后摆动架上。
3.根据权利要求2所述的粉末镀膜设备，其特征在于：所述的第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均包括电机、曲柄和连杆，曲柄一端与电机输出轴连接，另一端与连杆连接。
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