[发明专利]探针卡结构

权利要求书

1.一种探针卡结构，其特征在于包括有一电路板、一电性连接装置、一基板、至少一探针单元以及一密封胶垫，该探针单元设置于具有线路分布其上的该基板处，该电性连接装置设置于该电路板与该基板间，该密封胶垫将该基板周围与该电路板相邻处封闭，该电路板与该基板间空间内压力则呈真空或负压状态。

2.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该电路板具有至少一真空管，该真空管贯穿该电路板并延伸至该电路板与该基板间被密封胶垫封闭的空间内。

3.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该密封胶垫在中间位置设置有一孔，密封时该密封胶垫接近周围边缘的内表面是贴附于该电路板的下表面，而接近该孔的内表面则贴附于该基板的下表面。

4.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该密封胶垫为一环形的密封垫。

5.如权利要求4所述的探针卡结构，其特征在于该密封胶垫为O型环、多边型环其中至少一种。

6.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该电性连接装置具有多个弹性探针，该弹性探针将该电路板与该基板的讯号作连接。

7.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该电性连接装置具有多个弹性接触件，该弹性接触件将该电路板与该基板的讯号作连接。

8.如权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于该探针单元具有多个探针，该探针与待测件接触。