[发明专利]一种直拉单晶隔热装料方法及其装置有效
| 申请号： | 201010301244.5 | 申请日： | 2010-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101760773A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 周锐 | 申请（专利权）人： | 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直拉单晶 隔热 装料 方法 及其 装置 | ||
1.一种直拉单晶隔热装料方法，其特征在于，该方法按照以下步骤具 体实施：
步骤1、单晶炉拆炉后，操作人员穿戴好防护用具，采用耐高温清扫工 具，将主室炉筒(9)、主保温筒(8)和石墨加热器(4)等炉体及热场石墨 器件上的挥发物打扫干净；
步骤2、在主保温筒(8)上方安放隔热大盖(1)，用于将热场中向上挥 发的热气流阻隔，所述的隔热大盖(1)为一圆盘形状，与主室炉筒(9)的 内壁接触放置，隔热大盖(1)的外径与主室炉筒(9)的内径相适应，隔热 大盖(1)的中心挖有与石墨坩埚(7)外径相等的圆孔(10)；
步骤3、将石墨坩埚(7)及石英坩埚(6)依次放置于石墨托杆(5)上， 然后在石英坩埚(6)中装入单晶原料；
步骤4、装料完毕后，在石英坩埚(6)上盖好护料盖(2)，所述的护料 盖(2)沿圆周设置有护沿(11)，护沿(11)的内径大于石英坩埚(6)的 外径，护沿(11)的外径小于石墨坩埚(7)的外径；
步骤5、再将隔热大盖(1)取出，去掉护料盖(2)，合炉，开始下一炉 次的单晶拉制。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述隔热大盖(1)选用 固态石墨毡、硅酸铝陶瓷纤维制品或硅酸钙制品。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述隔热大盖(1)的外 径为500mm-1500mm，内径为200mm-1200mm，厚度为10mm-100mm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述护料盖(2)上表面 设置有两个把手(3)。
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