[发明专利]溅镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种溅镀装置。

背景技术

现有的溅镀装置通常包括圆柱状的中空镀膜腔、设置在镀膜腔内用于承放被镀物件的基座以及间隔均匀地设置在所述镀膜腔的圆柱状外侧壁上的靶座。所述靶座朝向镀膜腔内部的一侧上设置有溅镀靶材。在进行镀膜时，所述靶材被加速的带电粒子轰击而向镀膜腔内溅射靶材原子以附着在被镀物件的表面上形成镀膜层。

所述靶座通常固定安装在所述外侧壁上，而且仅在靶座面向镀膜腔的一侧设置有靶材。当经过一段时间的溅镀后靶材所在的一侧会被四处飞溅的靶材污染而变脏，且靶材也会损耗，所以必须将整个靶座拆下来进行清洁及更换靶材。然而，拆换靶座比较麻烦且耗费时间，从而影响到镀膜量产的效率。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种可方便清洁及更换靶材的溅镀装置。

本发明提供一种溅镀装置，其包括圆筒状的中空镀膜腔、靶座及滑动框架。所述镀膜腔包括一圆柱状的外侧壁，所述外侧壁的周缘上开设有多个间隔均匀的通孔。所述靶座包括至少两个与所述通孔的形状相对应的靶材承载部及一端与所述靶座转动连接的转动轴。所述靶材承载部上设置有用于溅镀的靶材材料，所述通孔与镀膜腔上下端之间的外侧壁上沿镀膜腔的径向设置有所述滑动框架。所述转动轴与靶座相对的另一端分别滑动连接在所述滑动框架上。所述靶座螺接固定在所述通孔的四周边缘上以将至少一个所述靶材承载部密封在镀膜腔的内部。所述靶座在所述滑动框架上滑动并绕转动轴旋转以替换密封在镀膜腔内的靶材承载部。

相对于现有技术，本发明所提供的溅镀装置通过在镀膜腔的外侧壁上滑动连接具有可旋转替换的多靶材承载部的靶座，以使得所述溅镀装置在更换溅射靶材时只需要将该靶座拉出旋转便可快速地替换新的靶材承载部，而无须拆装靶座，且在进行溅镀的同时可对刚撤换的靶材承载部进行清洁及上料，可节省更换靶材的时间，提高工作效率。

附图说明

图1为本发明实施方式所提供的溅镀装置的结构示意图。

图2为图1中溅镀装置的靶座的侧视图。

图3为图1中溅镀装置的靶座的滑动状态示意图。

图4为图1中溅镀装置的靶座的固定状态示意图。

主要元件符号说明

溅镀装置                                    1

镀膜腔                                      10

靶座                                        12

滑动框架                                    14

外侧壁                                      100

顶盖                                        102

底盖                                        104

通孔                                        100a

连接框                                      100b

螺孔                                        100c

上滑轨                                      140

下滑轨                                      142

固定框                                      120

转动轴                                      122

靶材基座                                    124

短边                                        120a

长边                                        120b

螺纹通孔                                    120c

靶材承载部                                  124a

滑动端                                      122a