[发明专利]太赫兹多波长位相成像方法无效
申请号: | 201010291936.6 | 申请日: | 2010-09-26 |
公开(公告)号: | CN102012216A | 公开(公告)日: | 2011-04-13 |
发明(设计)人: | 张岩;张亮亮;钟华;张存林 | 申请(专利权)人: | 首都师范大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 100037*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 赫兹 波长 位相 成像 方法 | ||
1.一种太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)对被成像样品进行二维光谱成像,得到所述被成像样品上每点的太赫兹时域光谱信号;
(2)对所述被成像样品上各点的太赫兹时域光谱信号进行傅立叶变换,得到系统有效频率范围内所述被成像样品上各点的位相谱;
(3)选取有效频率范围内的一段频率的位相图像进行线性拟合,得到拟合直线;
(4)求得所述拟合直线的斜率,所得斜率与被测样品的厚度成正比,从而可以重构出被测样品的轮廓。
2.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(1)中的二维光谱成像为透射式成像。
3.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(1)中的二维光谱成像为反射式成像。
4.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(1)中的二维光谱成像为二维焦平面成像。
5.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(1)中的二维光谱成像为二维逐点扫描成像。
6.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(3)中选取的一段频率为避开水蒸气吸收峰的一段频率。
7.如权利要求6所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,所述的一段频率为0.5THz到1.5THz。
8.如权利要求1所述的太赫兹多波长位相成像方法,其特征在于,步骤(4)中得到拟合直线斜率的方法为对所述拟合直线求导。
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