[发明专利]直拉硅单晶热场无效
| 申请号： | 201010288250.1 | 申请日： | 2010-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101949057A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞;颜超 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 夏素霞 |
| 地址： | 054001 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉硅单晶热场 | ||
【权利要求书】：
1.一种直拉硅单晶热场，其包括炉体、炉体内设置的石英坩埚和加热器；炉体侧壁下部设置有通孔，炉体的顶部开有氩气进口；炉体的底部设置有炉底盘，炉底盘的上面安装有保温桶，所述的保温桶外侧包裹有保温材料；在保温桶的顶部设有环形的大盖，在大盖的内环上固设有位于石英坩埚上部的导流筒，其特征在于：所述保温桶的上部设有向内的变径。
2.根据权利要求1所述的直拉硅单晶热场，其特征在于：所述保温桶上的变径位于加热器的上部，且变径与加热器之间留有空隙。
3.根据权利要求1或2所述的直拉硅单晶热场，其特征在于：所述的导流筒为倒圆台形筒，在倒圆台形筒外壁的中下部设有环形凸起。
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