[发明专利]一种金刚石膜的超高速复合抛光盘

说明书

技术领域

本发明属于金刚石膜的高速抛光技术，特别涉及金刚石膜高速及超高速精密抛光技术。

背景技术

目前，金刚石膜热化学抛光时所使用的抛光盘多为单盘结构，抛光盘磨损后需要整体更换；而且在进行高速及超高速抛光时，需要进行严格的动平衡，动平衡调整麻烦。若使用铸铁等材料作为抛光盘，由于其质量大，高速旋转时的惯性力可能会使抛光盘破裂而发生危险。

发明内容

本发明的目的是为了解决金刚石膜超高速抛光时动平衡调整、抛光盘更换及抛光盘破裂的技术问题，提供一种结构简单、转动惯量小、动平衡调整方便、抛光盘更换容易的一种金刚石膜超高速复合抛光盘。

本发明包括材料可以更换的抛光盘、铝合金材料的抛光盘座、动平衡调整块、联接轴、高速电主轴。抛光盘安装在抛光盘座的圆槽中并通过螺栓连接，抛光盘座另一面的梯形截面的环形槽内安装有三个动平衡调整块，调好动平衡后用螺钉将调整块顶紧在抛光盘座的环形槽内，抛光盘座通过联接轴与高速电主轴相连接。所述抛光盘座的一面有用于安装动平衡调整块的环形槽，另一面有用于安装抛光盘的圆槽，中间部位是用于和联接轴连接的定位孔及螺栓孔。

本发明具有结构简单、重量轻、转动惯量小，可以更换多种材料的抛光盘，动平衡调整简单方便等优点。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是抛光盘座的A向视图。

图中：1电主轴、2联接轴、3动平衡调整块、4调整螺钉、5抛光盘座、6抛光盘、7联接螺栓。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作过程作进一步说明。

一种金刚石膜的超高速复合抛光盘，如图1所示，它包括电主轴1、联接轴2、动平衡调整块3、调整螺钉4、抛光盘座5、抛光盘6、联接螺栓7。联接轴2通过螺纹与电主轴1联接，抛光盘6放置在抛光盘座5上方的圆槽中、它们通过螺栓7与联接轴2的法兰联接，动平衡调整块3安装在抛光盘座5下面的环形槽中，通过调整三个动平衡调整块圆周方向的相对位置达到调整动平衡的目的，动平衡调整好后拧紧调整螺钉4将动平衡调整块固定。由电主轴1通过联接轴2带动抛光盘座及抛光盘一起旋转。