[发明专利]压电谐振器结构

权利要求书

1.一种压电谐振器结构，其特征在于，包括：

(a)基底，具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分；

(b)声反射层，具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分，所述的底面置于基底的顶面；

(c)第一电极，具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分，所述的底面置于声反射层的顶面；

(d)压电层，具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分，所述的底面置于第一电极的顶面；

(e)第二电极，具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分，所述的底面置于压电层的顶面；

其中，基底、声反射层、第一电极、压电层和第二电极的重叠区域定义为有效激励区。

2.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，进一步还包括：由第二电极的第一末端延伸出的第一干涉结构和由第二电极的第二末端延伸出的第二干涉结构，在压电层第一末端形成第一空气间隙，在压电层第二末端形成第二空气间隙。

3.根据权利要求2所述的压电谐振器结构，其特征在于，所述的由第二电极两末端延伸出的第一、第二干涉结构分别置于第一、第二空气间隙上方。

4.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，在第二电极的顶面还设置具有第一末端和第二末端的干涉结构，且该干涉结构的宽度大于第二电极宽度，这样在第二电极的两末端分别形成了第一空气间隙和第二空气间隙。

5.根据权利要求4所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有第一支撑结构和第二支撑结构，所述的第一支撑结构置于干涉结构的第一末端和压电层上表面之间，所述的第二支撑结构置于干涉结构第二末端和压电层上表面之间，这样在第一支撑结构和第二电极的第一末端之间以及第二支撑结构和第二电极的第二末端之间分别形成了第一空气间隙和第二空气间隙。

6.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有具有第一末端和第二末端的第一干涉结构，并置于第二电极顶面，且所述的第一干涉结构的第二末端位于第二电极第一末端上，第一干涉结构的第一末端悬在有效激励区上方以形成第一空气间隙；以及还设置有具有第一末端和第二末端的第二干涉结构，并置于第二电极顶面，且所述的第二干涉结构的第二末端位于第二电极的第二末端上，第二干涉结构的第一末端悬在有效激励区上方以形成第二空气间隙。

7.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有具有第一末端和第二末端的第一干涉结构，并置于第二电极顶面，且所述的第一干涉结构的第二末端在第二电极第一末端上，第一干涉结构的第一末端悬停在第二电极和压电层第一末端上方以形成第一空气间隙；以及还设置有具有第一末端和第二末端的第二干涉结构，并置于第二电极顶面，且所述的第二干涉结构的第二末端在第二电极第二末端上，第二干涉结构的第一末端悬停在第二电极和压电层第二末端上方以形成第二空气间隙。

8.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有具有第一末端和第二末端的梯形第一干涉结构，并置于第二电极上表面，且所述的第一干涉结构的第二末端置于第二电极的第一末端，第一干涉结构的第一末端在有效激励区中，形成第一空气间隙；以及还设置有具有第一末端和第二末端的梯形第二干涉结构置于第二电极上表面，且所述的第二干涉结构的第二末端置于第二电极的第二末端，第二干涉结构的第一末端在有效激励区中，形成第二空气间隙。

9.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有具有第一末端和第二末端的梯形第一干涉结构，所述的第一干涉结构的第一末端置于第二电极的第一末端，第一干涉结构的第二末端置于压电层第一末端顶面以形成第一空气间隙；以及还设置有具有第一末端和第二末端的梯形第二干涉结构，所述的第二干涉结构的第一末端置于第二电极的第二末端，第二干涉结构的第二末端置于压电层第二末端顶面以形成第二空气间隙。

10.根据权利要求1所述的压电谐振器结构，其特征在于，还设置有在第一、第二末端对应具有第一、第二拱形干涉结构的干涉结构，并置于第二电极顶面，且所述的干涉结构的第一拱形干涉结构悬停在第二电极和压电层第一末端顶面上以形成第一空气间隙，干涉结构的第二拱形干涉结构悬停在第二电极和压电层第二末端顶面上以形成第二空气间隙。