[发明专利]偏心测定装置、偏心测定方法、光学元件及其阵列和单元

权利要求书

1.一种偏心测定装置，利用射入到光学元件的光穿透该光学元件所得的透射光，可测定出该光学元件的偏心量，其特征在于：

包括作为物体侧远心光学系统或两侧远心光学系统的元件成像光学系统，

所述元件成像光学系统通过射入的所述透射光使所述光学元件的两面分别成像，

根据使所述光学元件的两面分别成像所得的第1及第2透射像的对比度，可测定出该光学元件的偏心量。

2.根据权利要求1所述的偏心测定装置，其特征在于：

包括根据所述第1及第2透射像的对比度，测定所述光学元件的偏心量的偏心测定部。

3.根据权利要求2所述的偏心测定装置，其特征在于：

所述偏心测定部，包括将所述第1及第2透射像的各中心间的相隔距离作为所述光学元件的偏心量的中心位置偏心测定部。

4.根据权利要求2所述的偏心测定装置，其特征在于：

所述第1及第2透射像中的至少一者是圆形的圆形透射像，

所述偏心测定部，包括直径缩小偏心测定部，所述直径缩小偏心测定部根据实际成像的所述圆形透射像的直径相对于所述光学元件未产生偏心时的所述圆形透射像的直径而缩小的尺寸，测定所述光学元件的偏心量。

5.根据权利要求1所述的偏心测定装置，其特征在于：

所述第1及第2透射像分别存在多个，

所述偏心测定装置，包括测定两个所述第1透射像的各中心间的相隔距离的第1像间距离测定部、及测定两个所述第2透射像的各中心间的相隔距离的第2像间距离测定部中的至少一者。

6.根据权利要求3所述的偏心测定装置，其特征在于：

所述第1及第2透射像分别存在多个，

所述中心位置偏心测定部，将各第1及第2透射像的中心间的相隔距离中的至少一个作为所述光学元件的偏心量。

7.根据权利要求1所述的偏心测定装置，其特征在于：

包括用于将至少各一个所述第1及第2透射像作为图像而显示的摄像元件。

8.一种偏心测定方法，利用射入到光学元件的光穿透该光学元件所得的透射光，而测定该光学元件的偏心量，其特征在于包括如下步骤：

使所述透射光射入到作为物体侧远心光学系统或两侧远心光学系统的元件成像光学系统中，并通过该元件成像光学系统，使所述光学元件的两面分别成像；以及

根据使所述光学元件的两面分别成像所得的第1及第2透射像的对比度，测定该光学元件的偏心量。

9.根据权利要求8所述的偏心测定方法，其特征在于：

使用由多个所述光学元件一体成形而成的光学元件阵列，

对构成所述光学元件阵列的各光学元件，进行使该光学元件的两面分别成像的所述步骤、及测定该光学元件的偏心量的所述步骤。

10.根据权利要求9所述的偏心测定方法，其特征在于包括如下步骤：

将两个所述光学元件阵列叠合；

对通过将两个所述光学元件阵列叠合的所述步骤而叠合的两个所述光学元件，进行使该光学元件的两面分别成像的所述步骤、及测定该光学元件的偏心量的所述步骤；

根据测定出的各偏心量，来调整各光学元件阵列的相对位置关系，以使叠合的两个所述光学元件的各光轴彼此成为一条直线。

11.根据权利要求8所述的偏心测定方法，其特征在于包括如下步骤：

预先针对至少一个所述光学元件，在该光学元件的单面的外周部分或者两面的各外周部分，设置使射入的光散射的突出部。

12.根据权利要求8所述的偏心测定方法，其特征在于：

使用两个所述光学元件，

对一个所述光学元件，进行在该光学元件的单面的外周部分或者两面的各外周部分设置使射入的光散射的突出部的步骤；以及

对一个及另一个所述光学元件，进行以所述突出部抵接于另一个所述光学元件的方式贴合的步骤。

13.一种光学元件，利用射入到该光学元件的光穿透该光学元件所得的透射光而被测定出偏心量，其特征在于：

在单面的有效孔径的外周部分、或者两面的各有效孔径的外周部分，设置着使所述射入的光散射的突出部。