[发明专利]基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器

权利要求书

1.一种基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，包括：热基座、氧化铝结构层、镍电阻丝发热层和聚合物功能辅助层，其特征在于：镍电阻丝发热层、氧化铝结构层和热基座依次由上而下设置，所述的氧化铝结构层为重叠部和悬臂梁部构成的T字型结构，聚合物功能辅助层覆盖于氧化铝结构层的悬臂梁部的外部并包裹镍电阻丝发热层，驱动电压施加于镍电阻丝发热层的悬臂梁部上。

2.权利要求1所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的热基座的长度为500μm-3000μm，宽度为300μm-1500μm，厚度为10μm-50μm。

3.权利要求1所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的氧化铝结构层的中间为重叠部，该重叠部与热基座重叠设置，所述悬臂梁部的长度为300μm-1000μm，宽度为100μm-600μm，厚度为1μm-20μm。

4.权利要求1或3所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的悬臂梁部上设有若干个方洞阵列，其中的方洞的边长为10μm-50μm。

5.权利要求1所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的镍电阻丝发热层内设有若干呈栅状排列的电阻丝。

6.权利要求5所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的栅状排列为首尾相联的不等间距排布。

7.权利要求5所述的基于氧化铝薄膜与聚合物联合作用的电热微驱动器，其特征是，所述的电阻丝的截面边长为1μm-20μm×1μm-20μm，每两根相邻电阻丝的间距为5μm-50μm。