[发明专利]温度不敏感型阵列波导光栅波分复用器及其制造方法有效
申请号: | 201010236037.6 | 申请日: | 2007-02-27 |
公开(公告)号: | CN101900854A | 公开(公告)日: | 2010-12-01 |
发明(设计)人: | 李泰衡;金泰勲;李炯宰;俞炳权 | 申请(专利权)人: | 坡因特可株式会社 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;吕俊刚 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 温度 敏感 阵列 波导 光栅 波分复用器 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造温度不敏感型阵列波导光栅装置的方法,该方法补偿了在对该阵列波导光栅芯片的光路长度进行切分时由基板的切分切口宽度引起的光路长度的减量而导致的光学特性改变,该方法包括以下步骤:
在对阵列波导光栅芯片进行切分时将平顶操作功能波导结构(1c)定位在包含输入条形波导电路的输入子芯片部件(6a)中的步骤;
通过包含具有平顶操作功能波导结构(1c)的输入条形波导电路的输入子芯片部件(6a)将阵列波导光栅芯片的光路再对准的步骤。
2.一种温度不敏感型阵列波导光栅装置,该装置补偿了在对该阵列波导光栅芯片的光路长度进行切分时由基板的切分切口宽度引起的光路长度的减量而导致的光学特性改变,该装置包括以下部件:
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构在对所述阵列波导光栅芯片进行切分之后定位在阵列波导光栅芯片的包含输入条形波导电路的输入子芯片部件(6a)中;
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构在对两个子芯片部件的光路再对准之后定位在阵列波导光栅芯片的包含输入条形波导电路的输入子芯片部件(6a)中。
3.一种如权利要求2所述的温度不敏感型阵列波导光栅中的平顶操作功能波导结构,该结构包括以下部件之一:
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构定位在输入条形波导电路(1a或1b)与切分的切割面之间;
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构定位在所述输入条形波导电路(1a或1b)与所述输入平板波导(3)的切分部分之间;或者
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构定位在所述输入条形波导电路(1a或1b)与未切分的输入平板波导(3)之间。
4.一种温度不敏感型阵列波导光栅装置中的平顶操作功能波导结构,该结构包括以下部件:
平顶操作功能波导结构(1c),该平顶操作功能波导结构在对所述阵列波导光栅芯片进行切分之前定位在附加输入条形波导电路(1b)与虚拟波导(1d)之间。
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