[发明专利]与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物无效
申请号: | 201010233728.0 | 申请日: | 2010-05-20 |
公开(公告)号: | CN101935492A | 公开(公告)日: | 2011-01-05 |
发明(设计)人: | A·赞皮尼;G·B·韦顿;V·简恩;刘骢;S·克雷;O·昂格伊 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C09D167/00 | 分类号: | C09D167/00;G03F7/09;G03F7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
1.一种与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物,该涂料组合物包含一种包含氰尿酸酯基团和疏水性基团的树脂。
2.如权利要求1所述的涂料组合物,其中疏水性基团选自羟基和醚。
3.如权利要求1所述的涂料组合物,其中所述树脂由包含氰尿酸酯化合物的反应物制得,所述氰尿酸酯化合物的多个氰尿酸酯氮环原子被不同的羧基和/或羧基酯基取代。
4.如权利要求3所述的涂料组合物,其中所述氰尿酸酯化合物对应于下列式I:
其中所述基团R1OOC(CH2)n-、R2-和R3OOC(CH2)n-中至少两个是不同的酸或酯基团;和
R1、R2和R3各自独立地是氢或非氢取代基;和
n和m相同或不同,各自是一个整数。
5.如权利要求1-4中任一项所述的涂料组合物,其中所述树脂包含共价键链接的交联剂基团。
6.如权利要求1-5中任一项所述的涂料组合物,其中所述树脂包含聚酯键。
7.一种涂敷的基材,所述基材包含:
权利要求1-6中任一项所述的减反射组合物层;
在所述涂料组合物层之上的光刻胶层。
8.一种形成光刻胶浮雕像的方法,所述方法包括:
在基材上涂覆权利要求1-8中任一项所述的减反射涂料组合物;
在上述涂料组合物层上涂覆光刻胶组合物;和
曝光和显影所述光刻胶层,从而制得光刻胶浮雕像。
9.如权利要求9所述的方法,其中所述减反射组合物在涂覆所述光刻胶组合物之前交联。
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C09D 涂料组合物,例如色漆、清漆或天然漆;填充浆料;化学涂料或油墨的去除剂;油墨;改正液;木材着色剂;用于着色或印刷的浆料或固体;原料为此的应用
C09D167-00 基于由主链中形成1个羧酸酯键的反应得到的聚酯的涂料组合物
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