[发明专利]测试分选机用拾放模块

说明书

技术领域

本发明涉及用在测试分选机的拾放模块，该拾放模块为在用于装载或排列半导体元件的互不相同的装载单元或排列单元之间移送半导体元件的拾放装置的一个模块。

背景技术

测试分选机为用于支持测试装置对经过预定的制造工艺制造的半导体元件进行测试的设备。这种测试分选机，将装载于用户托盘的半导体元件装载到测试托盘，并将装载于测试托盘的半导体元件供给到测试装置，等测试结束之后将半导体元件从测试托盘卸载到用户托盘。

这种测试分选机具有不仅在用户托盘与测试托盘之间移送半导体元件，还在如校准器(Aligner)，缓冲器，分拣台(sorting table)等互不相同的装载单元或排列单元之间移送半导体元件的拾放装置，而这种拾放装置具有至少一个拾放模块。

并且，拾放模块具有多个拾取部件(picker)，这种拾取部件根据真空力对半导体元件进行吸附而吸附或放下半导体元件。

另外，用户托盘的目的在于为了保管半导体元件而装载半导体元件，因此，优选为装载尽量多的半导体元件。但是，半导体制造工艺技术的发展，导致通过缩小具有相同功能的半导体元件的大小来增加了可装载于相同面积的用户托盘的半导体元件的数量。即，比如现有的用户托盘，一列可装载八个半导体元件，而由于半导体制造工艺的发展，使半导体元件变小，由此相同大小的用户托盘的一列可装载十个或十二个半导体元件。此时，装载于一列可装载十个或十二个半导体元件的用户托盘的半导体元件之间的间隔，相比于装载于一列可装载八个半导体元件的用户托盘的半导体元件之间的间隔更小。

因此，测试分选机从提供一列装载八个半导体元件的用户托盘变更为提供一列装载十个或十二个半导体元件的用户托盘时，或者为相反的情况时，包含于测试分选机的拾放模块的拾取部件之间的间距也需要调整。但是，由于没有研究出能够调整拾取部件之间的间隔，以共用于每个相同面积可装载的半导体元件的数量互不相同的用户托盘的调整手段，因此，当替换装载容量不同的用户托盘时，需要替换为适合于所述用户托盘的拾放模块。

并且，一个拾放模块需要拾取部件的数量满足能够吸附装载于用户托盘的一列的所有半导体元件，这样才能够缩短半导体元件的移送时间。但是，当一列装载有八个半导体元件的用户托盘替换为一列装载十个或十二个半导体元件的用户托盘时，或者与上述情况相反时，需要能够增加或减少拾取部件的数量，但是，若依现有技术的拾放模块，则不能增加或减少拾取部件的数量，因此，需要替换整个拾放模块。

即，在以往，制造出拾取部件之间的间距不同或拾取部件的数量不同的各种样式的拾放模块，并根据需要替换整个拾放模块。因此，导致制造成本增加，且导致发生替换拾放模块所需的物质和时间上的损失。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供可通过替换部分拾放模块来适用于装载容量互不相同的用户托盘，且能够容易地进行替换作业的测试分选机用拾放模块。

为了实现上述目的，根据本发明的测试分选机用拾放模块包括：具有N个真空管路的主体，所述N个为多个；拾取单元，该拾取单元形成有对应于形成在所述主体的全部所述N个真空管路或部分所述真空管路的M个真空通道，且具有与所述M个真空通道分别连通而利用通过所述真空通道传递的真空压来吸附或放下半导体元件的M个拾取部件，其中所述M满足1≤M≤N，即，M≥1，且所述M小于等于所述真空管路的数量。并且，所述拾取单元通过挂接方式可装卸地安装于所述主体。

并且，所述拾取单元的一端设有第一挂接销，所述拾取单元的另一端设有第二挂接销，所述主体的一端具有用于挂接支撑于第一挂接销的第一挂接部件，所述主体的另一端具有用于挂接支撑于第二挂接销的第二挂接部件，所述第二挂接部件可转动地设置，以解除与所述第二挂接销的挂接。

并且，所述第二挂接部件以转动轴为中心可转动地设置，且以所述转动轴为基准分为杆部和挂接支撑于所述第二挂接销的挂钩部。

并且，所述拾取单元的一端形成有用于设置所述第一挂接销的第一设置槽，所述拾取单元的另一端形成有用于设置所述第二挂接销的第二设置槽。

并且，所述第一挂接销和所述第二挂接销中至少一个形成为“”型销，所述“”型销的一端通过连接部件固定在所述拾取单元。

并且，根据本发明的测试分选机用拾放模块还包括用于防止所述第二挂接部件任意转动的转动防止部件。

根据本发明，仅通过替换拾放模块的拾取单元(kit)就可适用于不同装载容量的全部的用户托盘，所以无需一个一个制造整个拾放模块，因此可节省制造成本。