[发明专利]硅基麦克风有效
| 申请号： | 201010173213.6 | 申请日： | 2010-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101835080A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 葛舟 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅基麦克风，包括基底、与基底相连的阻挡层、与阻挡层连接的振膜，在基底和阻挡层的中心设有贯穿二者的空腔，所述振膜包括与阻挡层相连的边缘部和由边缘部围绕的振动主体，其特征在于：所述振膜的边缘部包括与阻挡层相连的高应力的氮化硅层和与氮化硅层相连的低应力的多晶硅层，所述振膜的振动主体仅包括低应力的多晶硅层。
2.根据权利要求1所述的硅基麦克风，其特征在于：所述振膜的边缘部还设有间隙。
3.根据权利要求1所述的硅基麦克风，其特征在于：所述振膜的振动主体为圆形。
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