[发明专利]平版印刷系统中的有用物传送系统无效
申请号: | 201010156656.4 | 申请日: | 2004-12-06 |
公开(公告)号: | CN101833249A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | A·H·菲利普斯 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李洋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平版印刷 系统 中的 有用 传送 | ||
1.一种平版印刷系统,包括:
包括感应芯、初级感应线圈以及次级感应线圈的变压器,其中该感应芯具有第一端和第二端,并且该初级感应线圈卷绕该感应芯的第一端;
适于支撑晶片或标线片的载物台,其中该载物台容纳该次级感应线圈;以及
支撑载物台和感应芯以使该感应芯的第二端延伸到次级感应线圈中的框架,其中感应芯的每个侧面保持与次级感应线圈的内表面隔开一段最小距离,从而初级感应线圈内的电流产生一个使电流在次级感应线圈中流动的电磁场。
2.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台的每个表面保持与框架的相应表面隔开一段最小距离。
3.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台相对于框架沿扫描轴线移动,并且感应芯的第二端的纵向轴线平行于该扫描轴线。
4.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台容纳多个次级感应线圈,该感应芯的第二端延伸穿过所述多个次级感应线圈中的每一个。
5.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该平版印刷系统还包括:
定位在载物台内的载物台射频发送器、接收器或收发器;以及
定位在框架上的框架射频发送器、接收器或收发器,其中该载物台和框架射频发送器、接收器或收发器在其间传送电信号。
6.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该平版印刷系统还包括:
定位在载物台内的载物台光信号发送器、接收器或收发器;以及
定位在框架上的框架光信号发送器、接收器或收发器,其中该载物台和框架光信号发送器、接收器或收发器在其间传送光信号。
7.如权利要求6所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台相对于框架沿扫描轴线移动,并且在载物台和框架光信号发送器、接收器或收发器之间传递的光信号沿大致平行于所述扫描轴线的轴线传播。
8.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该平版印刷系统还包括:
至少一个位于载物台表面上的载物台传热表面;以及
至少一个位于框架上的框架传热表面,其中该载物台和框架传热表面彼此隔开却相邻,以便于来自载物台传热表面的热可以被传送到框架传热表面。
9.如权利要求8所述的平版印刷系统,其特征在于,该平版印刷系统还包括:定位在载物台内并连接于载物台传热表面的吸热器。
10.如权利要求9所述的平版印刷系统,其特征在于,该吸热器包含储热材料,该储热材料适于在由载物台产生的热导致储热材料经历相变时作为潜伏热收集并储存由该载物台产生的热。
11.如权利要求1所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台的顶面邻接于框架的底面,该载物台的顶面具有通道开口并且该框架的底面具有腔,其中该腔定位在通道开口上方,以使气体和液体可在通道开口和腔之间传送。
12.如权利要求11所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台还包括能够通过通道开口排出气体的载物台贮存器,并且该框架包括真空泵和真空通道,该真空通道具有位于所述腔内的开口,从而该真空泵可将从载物台贮存器排出的气体收集到真空通道中。
13.如权利要求11所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台还包括:选择用于在由载物台产生的热导致储热材料经历相变时作为潜伏热收集并储存由该载物台产生的热的储热材料。
14.如权利要求13所述的平版印刷系统,其特征在于,该储热材料在从载物台收集并储存热的同时保持相对恒定的温度。
15.如权利要求13所述的平版印刷系统,其特征在于,该储热材料是石蜡。
16.如权利要求13所述的平版印刷系统,其特征在于,该储热材料为每个都包裹在相应支撑结构中的颗粒形式。
17.如权利要求16所述的平版印刷系统,其特征在于,该平版印刷系统还包括:构造为将储热材料传送到载物台内的沉积机构,从而重力使得储热材料从沉积机构移动到载物台内。
18.如权利要求17所述的平版印刷系统,其特征在于,该载物台具有用来从沉积机构接收储热材料的开口。
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