[发明专利]喷液头、喷液装置及致动装置

权利要求书

1.一种喷液头，其特征在于，

具备：压电元件，所述压电元件包括第一电极、压电体层和第二电极，所述第一电极、压电体层和第二电极设置于流路形成基板的一面侧，所述流路形成基板设置有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室；和保护膜，所述保护膜由无机绝缘材料形成，覆盖所述压电元件并且设置有使所述第二电极的上表面露出的开口部，

所述压电元件在所述压电元件的驱动时，以向所述压力发生室侧凸出的方式变形，所述保护膜的所述开口部在所述压力发生室的长度方向上的端部，与该变形时的所述压电元件在所述压力发生室的周壁附近的弯曲形状的曲率中心处于压力发生室侧的区域相比，位于中央侧。

2.根据权利要求1所述的喷液头，其特征在于，

所述第一电极，夹着振动板设置于流路形成基板的一面侧，

所述第一电极在所述压力发生室的长度方向上的端部，与所述振动板以及所述压电元件在所述压力发生室的周壁附近的弯曲形状的曲率中心处于压力发生室侧的区域相比，位于中央侧；

所述保护膜的所述开口部在所述压力发生室的长度方向上的所述端部，位于该第一电极之上。

3.根据权利要求2所述的喷液头，其特征在于，

所述保护膜的所述开口部在所述压力发生室的长度方向上的所述端部与所述第一电极在所述压力发生室的长度方向上的端部的距离，至少为10μm以上。

4.一种喷液装置，其特征在于，具备权利要求1至3中任一项所述的喷液头。

5.一种致动装置，其特征在于，

具备：压电元件，该压电元件包括第一电极、压电体层以及第二电极，所述第一电极、压电体层以及第二电极设置于设置有凹部的基板的与凹部相对向的区域；和保护膜，所述保护膜由无机绝缘材料形成，覆盖所述压电元件并且设置有使所述第二电极的表面露出的开口部，

所述压电元件在所述压电元件的驱动时，以向所述压力发生室侧凸出的方式变形，所述保护膜的所述开口部在所述压力发生室的长度方向上的端部，与该变形时的所述压电元件在所述压力发生室的周壁附近的弯曲形状的曲率中心处于压力发生室侧的区域相比，位于中央侧。