[发明专利]纳米磁性液体微致动泵

权利要求书

1.一种纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：它包括由键合层(8)键合为一体的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)，上基片(5)的内侧设有左、中、右三个凹槽，上基片(5)与中基片(6)之间间隔有微管道(16)，中基片(6)上设有与上基片(5)三个凹槽相对应的左、中、右三个磁性液体工作腔(10、12、14)，中基片(6)与下基片(7)之间设有一层可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔(10、12、14)进入左、中、右三个凹槽的弹性薄膜(15)，可分别穿过左、中、右三个磁性液体工作腔(10、12、14)的弹性薄膜(15)内分别设有出口阀的磁性液体(9)、微致动体的磁性液体(11)和入口阀的磁性液体(13)；对应上基片(5)内侧的左凹槽顶部内设有入口阀微型电磁线圈(1)，对应上基片(5)内侧的中凹槽顶部内两侧分别设有微致动体左侧电磁线圈(2)和微致动体右侧电磁线圈(3)，对应上基片(5)内侧的右凹槽顶部内设有出口阀微型电磁线圈(4)。

2.根据权利要求1所述的纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：所述的弹性薄膜(15)由硅橡胶或聚甲基丙烯酸甲酯制成。

3.根据权利要求1所述的纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：所述的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)由单晶硅、玻璃、有机玻璃、聚合物或非导磁金属材料制成。

4.根据权利要求1所述纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：所述的微型电磁线圈由石英基片(17)及电镀在其上的铁镍合金磁芯(18)和围绕在磁心周围的铜质绕组(19)构成。

5.根据权利要求1所述的纳米磁性液体微致动泵，其特征在于：所述的上基片(5)、中基片(6)和下基片(7)水平或竖直反向布置。