[发明专利]7N电子级超纯氨的纯化方法无效
| 申请号： | 201010140687.0 | 申请日： | 2010-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101817540A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 金向华;吴彦敏;李英辉;刘志军 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 周新亚 |
| 地址： | 215131 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 级超纯氨 纯化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种7N电子级超纯氨的纯化方法，其特征是其工艺步骤为：
1)原料液氨送入汽化器：通过液氨泵将纯度为99.8％且含油量较少的工业液氨送入汽化器；
2)间歇性精密汽化：汽化器采用两个并联，间歇汽化，精密控制液氨蒸发，将汽化后的氨气中的水份含量控制在工业液氨中水份含量的1％以下；
3)高效除油：汽化后的氨气进入高效除油器，将油份降至0.1ppm以下；
4)深度吸附干燥：除油后的氨气再经过深度除水吸附干燥，将氨气中水份含量控制在1ppm以内；
5)ppb级精馏：干燥后的氨气经过ppb级精馏塔可将液氨中的轻重组分进一步分离除去，轻组分在塔顶冷凝器排放，可使氨中H2、O2、N2、Ar、CH4、CO、CO2等降至10ppb以下，重组分在塔底排出至废氨罐，可使氨中金属离子降至ppt数量级；
6)氨气终端纯化：最后氨气进入终端纯化器进行深度除水，终端纯化器中采用锆钒铁合金作为吸气剂，可使纯化后的产品氨中水份含量控制在1ppb以下。
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