[发明专利]回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法有效
| 申请号： | 201010135902.8 | 申请日： | 2010-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101791487A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 马国栋;耿玉侠;裴艳红;李强;杨玉兰;王兵;杨光 | 申请（专利权）人： | 中国天辰工程有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;B01D53/18;B01D3/00;C01B7/07;C01B33/03 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 陆艺 |
| 地址： | 300400 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回收 多晶 生产 尾气 氯化氢 方法 | ||
1.一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是包括下述步骤：将多晶硅 生产中还原炉和/或氢化炉里产生的尾气经过冷却、冷凝，使大部分的二氯二氢硅、三氯 氢硅和四氯化硅液化，气体经压缩后进入氯化氢吸收塔，用氯硅烷溶液吸收气体中的氯 化氢和气态氯硅烷，绝大部分氢气从氯化氢吸收塔顶部排出并收集；从氯化氢吸收塔底 部排出的富氯化氢的氯硅烷液体通入氯化氢精馏塔进行精馏，氯硅烷溶液从氯化氢精馏 塔塔底排出，与富氯化氢的氯硅烷液体换热后进入氯化氢吸收塔；含有微量氢气的氯化 氢气体从所述氯化氢精馏塔塔顶排出，进入精馏塔顶全凝器，精馏塔顶全凝器的冷凝液 进入精馏塔回流罐，微量氢气从精馏塔回流罐顶部排出并收集，精馏塔回流罐的冷凝液 一部分通入氯化氢精馏塔作为回流液，一部分进入液体氯化氢储罐进行储存。
2.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是所 述氯化氢吸收塔的压力为0.6～1.5MPaG。
3.根据权利要求2所述的一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是所 述氯化氢吸收塔的压力为0.9～1.0MPaG。
4.根据权利要求1所述的一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是所 述氯化氢精馏塔的压力为0.6～1.5MPaG。
5.根据权利要求4所述的一种回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法，其特征是所 述氯化氢精馏塔的压力为0.9～1.0MPaG。
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