[发明专利]高场不对称波形离子迁移管及其制作方法

权利要求书

1.一种高场不对称波形离子迁移管的制作方法，高场不对称波形离子迁移 管包括有上、下基片和支撑上、下基片的支撑梁，其特征在于：所述上、下基片 和支撑梁之间的通道构成气流通道，所述上、下基片的内侧面沿着气流的方向通 过烧结固化方式依次附着有相对应的上、下迁移电极，上、下辅助屏蔽电极和上、 下检测电极，所述上、下基片的外侧面通过烧结固化方式依次附着有相对应的上、 下加热电阻和上、下主屏蔽电极，所述上、下基片的内侧面或外侧面还通过烧结 固化方式相对应的附着有上、下温度传感器；所述上、下迁移电极后方的气流通 道构成离化区，上、下迁移电极之间的气流通道构成迁移区，所述上、下检测电 极之间的气流通道构成检测区；

高场不对称波形离子迁移管的制作，具体包括以下步骤：

(1)、按照所需尺寸裁剪两片陶瓷基片作为上、下基片，并将上、下基片的 表面清洗干净；

(2)、在上、下基片的内侧面印刷导体料浆，并通过烧结固化的方式在上、 下基片的正面分别依次形成上、下迁移电极，上、下辅助屏蔽电极和上、下检测 电极；

(3)、在上、下基片的外侧面印刷导体料浆，并通过烧结固化的方式在上、 下基片的正面分别形成上、下主屏蔽电极；

(4)、在上、下基片的外侧面印刷厚膜介质浆料并烧结固化；然后在烧结固 化有厚膜介质的上、下基片的外侧面印刷厚膜电阻料浆，并通过烧结固化的方式 在上、下基片的外侧面分别形成加热电阻；

(5)、在上、下基片的内侧面或外侧面印刷厚膜热敏料浆，并通过烧结固化 的方式在上、下基片的内侧面分别形成上、下温度传感器；

(6)、在上、下基片之间用填充浆料进行填充，并通过烧结固化的方式在上、 下基片之间形成支撑梁，上、下基片与支撑梁之间形成气流通道。

2.根据权利要求1所述的高场不对称波形离子迁移管的制作方法，其特征 在于：所述上、下主屏蔽电极的长度分别大于或等于所述上、下检测电极的长度； 所述上、下加热电阻的长度分别小于或等于所述上、下基片的长度。

3.根据权利要求1所述的高场不对称波形离子迁移管的制作方法，其特征 在于：所述导体浆料为银、金、铂、钯、钨、钯银、钯金、金铂、钼锰或铝银浆 料；所述介质浆料为陶瓷粉、玻璃体、有机溶剂混合组成的混合物浆料或聚合物 浆料；所述电阻浆料为厚膜钯银、铂族、钌系、硅化钼系、铜系或氧化锡系电阻 浆料；所述热敏浆料为钛酸钡、铂或铟热敏电阻浆料。

4.根据权利要求1所述的高场不对称波形离子迁移管的制作方法，其特征 在于：所述填充浆料为导体浆料或厚膜介质浆料。