[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

保持台，在水平面上保持基板；

涂布部，包括朝向所述保持台上的所述基板流出涂布液的喷嘴；

行走机构，使所述涂布部相对于所述保持台在水平方向上行走；

升降机构，使所述涂布部在上下方向上升降；

异物检测部，在为了在所述基板上涂布涂布液而通过所述行走机构使所述涂布部行走时，检测出位于所述喷嘴的行走方向前方侧的异物；

退避控制部，当所述异物检测部检测出异物时，控制所述升降机构以使所述涂布部朝向上方退避。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述异物检测部设置在与所述涂布部的喷嘴相比靠行走方向的前方侧，且包括：碰撞部，在所述基板上或所述保持台上有异物时，能够与所述异物或者所述基板的表面发生碰撞；碰撞检测部，检测出因与所述异物或者所述基板表面相碰撞而引起的所述碰撞部的高度变化。

3.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述碰撞部与所述涂布部设置成一体，以使所述碰撞部能够与所述涂布部一起升降，

所述涂布装置还包括：高度检测部，检测所述涂布部的高度；升降控制部，根据所述高度检测部的检测结果将所述涂布部的高度控制到规定高度，

所述高度检测部兼作所述碰撞检测部。

4.如权利要求2或3所述的涂布装置，其特征在于，在所述碰撞部的行走方向的前方侧的下部，形成有以越靠所述行走方向的前方侧其高度越高的方式倾斜的倾斜面。