[发明专利]一种干涉仪装置

权利要求书

1.一种干涉仪装置，包括：

一光分束器，用于将入射光束分离为两个平行光束输出；

一直角反射镜，用于将上述两平行光束经过直角反射镜的两个直角反射面反射后，平行地折回到光分束器；

一固定元件，置于光分束器和直角反射镜之间，通过固定元件两侧相互平行的侧面，将所述的光分束器和直角反射镜连接为一个整体。

2.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的光分束器由一个菱形棱镜部件和一个直角棱镜部件组成，菱形棱镜部件的棱角为45°，其一侧面与直角棱镜的斜面粘结，并形成透反比为50∶50的分光膜，菱形棱镜的另一侧面与直角棱镜的一直角面平齐，同处在一个平面内。

3.根据权利要求2所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的光分束器的菱形棱镜部件可拆分为两个直角棱镜，由两直角棱镜通过直角面相互粘结构成。

4.根据权利要求2所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的光分束器的直角棱镜部件可换为另一个菱形棱镜部件，与前一个菱形棱镜部件粘结，使得输出的光束在该菱形棱镜部件的一侧面发生全反射后，在另一侧面透射输出，此时输出光与入射光在光分束器同一侧，且相互平行。

5.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的直角反射镜的截面(呈直角三角形)与所述的两平行光束构成的平面相互垂直，从而使返回的光束与入射光束有空间上的偏移量。

6.根据权利要求1的干涉仪装置，其特征在于：所述直角反射镜可换作由一个或多个光学元件构成的有反射功能的光学部件，使得经过光分束器分离的两平行光束入射到光学部件上时会发生反射，其反射光也保持着相互平行的关系，以使反射光能再次入射到光分束器的分光膜上发生干涉。

7.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的固定元件是一平板玻璃，置于光分束器和直角反射镜之间，通过平板玻璃两侧相互平行的侧面，将光分束器和直角反射镜连接为一个整体。

8.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：所述的固定元件是一基板，置于光分束器和直角反射镜底面，将所述的光分束器和直角反射镜与基板粘结为一个整体。

9.根据权利要求2所述的干涉仪装置，其特征在于：所述透反比为50∶50的分光膜可改镀成与偏振相关的偏振分光膜。

10.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：可在所述的光分束器和直角反射镜之间的光束通道上引入负热膨胀系数材质的平片。

11.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：可在所述的光分束器和直角反射镜之间的光束通道上引入基于热光效应或电光效应或电致伸缩效应的可调相位延迟片。

12.根据权利要求1所述的干涉仪装置，其特征在于：可在所述的光分束器和直角反射镜之间的光束通道上引入改变光学特性的光学元件。