[发明专利]基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器

权利要求书

1.一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感，包括：

一激光器；

一Y型波导，该Y型波导的一端为入射波导，入射波导的一端有一第一正锥，该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接；

该Y型波导的另两端分为参考臂波导和传感臂波导；

该Y型波导的参考臂波导的一端有一第二正锥；

该Y型波导的传感臂波导的一端有一第三正锥；

一第一功率计，该第一功率计通过光纤与参考臂波导的第二正锥连接；

一马赫-曾德尔波导结构，该马赫-曾德尔波导结构接入传感臂波导的中间；

一第二功率计，该第二功率计通过光纤与传感臂波导的第三正锥连接。

2.根据权利要求1所述的基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，其中所采用的激光器是DFB激光器或DBR激光器的单模激光器。

3.根据权利要求1所述的基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，其中所述的第一正锥、第二正锥和第三正锥为正锥结构或倒锥结构。

4.根据权利要求1所述的基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，其中Y型波导的分光比为3dB。

5.根据权利要求1所述的基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，其中马赫-曾德尔波导结构的两臂长差为厘米量级。

6.根据权利要求1所述的基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器，其中第一功率计和第二功率计采用光功率计或光探测器。