[发明专利]供线锯装置所用的滑轮、线锯装置及操作方法

说明书

技术领域

本发明的实施例涉及用于线锯装置中的滑轮、线锯装置、线锯装置的用途、以及用于操作线锯装置的方法。更具体地，这些实施例涉及配置用于线锯装置的滑轮，以及用于切割或切锯坚硬材料(诸如硅块或石英块)、例如切割硅晶片的线锯装置，用于方块切锯装置(squarer)、用于截切器等的线锯装置。

发明背景

现有线锯装置用于从诸如硅的坚硬材料片切割块体或材料砖、薄片(例如半导体晶片)。在此类装置中，拉伸的锯线从卷线轴馈送，且由滑轮导引并拉张，以在切割区域中导引锯线。用于切锯的锯线大体上设有磨料材料。一个选项是，可提供磨料材料作为浆料。这可在锯线接触待切割的材料之前快速完成。因此，磨料被用于切割材料的锯线携带至切割位置。另一个选项是，磨料可设于具有涂层的锯线上。举例而言，钻石粒子可设于例如具有涂层的金属线上，其中所述钻石粒子嵌在锯线的涂层中。因此，磨料紧紧地与锯线相连。

大体而言，目前的趋势是使用较细的锯线以减少切割厚度，因此减少废弃的材料。亦期望使用钻石锯线。所述较细的锯线与钻石锯线通常易损坏，且在高应变下所述锯线更容易断裂。进一步地的，期望加快切割速度，以提高线锯装置的处理量。片材移动通过锯线网的最大速度以及给定量的时间内最大的有效切割面积受到以下因素限制：锯线速度、待切锯材料的硬度、扰动影响及期望精度等。当速度加快时，停止机器将越来越难。因此，上述避免损坏锯线、锯线断裂的问题在更高的切锯速度下更为严峻。

发明内容

根据上文所述，提供了：根据独立权利要求1所述的滑轮，所述滑轮配置用于具有形成锯线网的锯线的线锯装置；根据权利要求14所述的线锯装置；以及根据独立权利要求18项所述的操作线锯装置的方法。进一步的优点、特征、方面与细节可根据从属权利要求、说明书及附图显而易见。

根据一个实施例，提供一种滑轮，所述滑轮配置用于具有形成锯线网的锯线的线锯装置。所述滑轮包括：围绕滑轮轴的轮部，其中所述轮部包含导电塑料材料；以及锯线导引部，所述锯线导引部位于所述轮部的径向外侧，具有用于导引所述锯线的沟槽结构。

根据另一实施例，提供一种具有形成锯线网的锯线的线锯装置。所述线锯装置包括滑轮，所述滑轮配置用于所述线锯装置。所述滑轮包括：围绕滑轮轴的轮部，其中所述轮部包含导电塑料材料；以及锯线导引部，所述锯线导引部位于所述轮部的径向外侧，具有用于导引所述锯线的沟槽结构。

根据又一实施例，提供一种操作线锯装置的方法，所述线锯装置具有形成锯线网的锯线。所述方法包括以下步骤：提供多个滑轮，所述滑轮具有围绕滑轮轴的轮部，其中所述轮部包含导电塑料材料；向所述锯线施加一电位的偏压；以及在所述锯线接触所述轮部期间，监视所述线锯装置中电流的存在。

各个实施例还涉及用于执行所揭示方法的设备以及包括用于执行每一所述方法步骤的设备元件。这些方法步骤可通过硬体部件、由适当软件编程的计算机、所述二者的任何组合，或任何其他方式执行。再者，根据本发明的各个实施例亦涉及操作所述设备的方法。所述方法包括用于执行设备的每一功能的方法步骤。

附图简述

可参照各个实施例，获得如上文所简短概述的本发明的更具体描述，从而可得到详细了解本发明的前述特征的方法。附图涉及本发明的实施例，并且在下文中加以描述：

图1显示根据本文中所述的实施例的线锯装置的概略视图。

图2显示根据本文中所述的实施例的另一线锯装置的概略视图。

图3显示锯线管理单元的透视图。

图4A与图4B显示滑轮的概略视图，示出根据本发明的实施例的滑轮的实施例。

图5A与图5B显示根据本文中所述实施例的另一滑轮的概略视图。

本发明的具体描述

现在请详细地参考本发明的各个实施例，这些实施例的一个或多个示例在附图中示出。在以下对附图的描述中，相同的元件符号指相同的部件。大体而言，只针对个别实施例描述差异。每一示例是为了说明本发明而提供的，并非意图限制本发明。进一步地，作为一个实施例的一部分绘示或描述的特征可用于其他实施例或与其他实施例结合，以产生其它的实施例。本说明书旨在涵盖这种修改与变体。