[发明专利]测试方法和该方法所使用的程序产品

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件等电子器件的测试方法和该方法所使用的程序产品。本发明尤其涉及对连接在测试模块上的多个被测器件进行测试的方法。

背景技术

作为以往的测试方法已知有在测试模块的一个段(segment)上仅连接一个被测器件来同时测试多个被测器件的方法。在这种情况下，由于能够同时控制多个段，因此能够在一次测试中同时测试多个DUT(Device Under Test：被测器件)。然而，在所述连接中，由于对一个段只能分配一个DUT，从而导致在一次连接中能进行测试的DUT的数量受到限制。

另一方面，为了有效地应用测试模块的外部端子，在用户在测试模块的一个段上连接2个以上被测器件的情况下，连接在一个段上的2个以上被测器件不能相互同时测试，因此需要分开测试次数来进行测试。在这种情况下，在连接于测试模块上的被测器件的个数较多时，用户难以任意选择测试顺序，更难以选择测试次数少的顺序。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供能够解决上述课题的测试方法和程序产品。该目的能够通过权利要求书中的独立权利要求所记载的技术特征的组合来实现。此外，从属权利要求规定了本发明优选的具体例。

为了达到上述目的，根据本发明的第一方式，提供一种对连接在测试模块上的多个被测器件进行测试的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)至少根据上述测试模块与上述多个被测器件的连接关系来求出上述多个被测器件的组合中的、理论上能够同时测试的被测器件的组合；和(b)从在上述步骤(a)中求出的上述组合中，依次选择实际上同时测试的被测器件的组合来对上述多个被测器件进行测试。

在上述测试方法中，也可以是，通过进行上述步骤(a)和步骤(b)，以比连接在上述测试模块上的多个被测器件的个数少的测试次数进行测试。

在上述测试方法中，也可以是，上述测试模块具有多个段，在上述步骤(a)中，求出上述多个被测器件的组合中的、按上述段不能同时测试的被测器件的组合，根据所述组合来求出理论上能够同时测试的被测器件的组合。

在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从少到高的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。

在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照能够同时测试的被测器件的个数从多到少的顺序来选择实际上同时测试的被测器件的组合。

在上述测试方法中，也可以是，在上述步骤(b)中，按照预先分配的被测器件的号码的顺序选择实际上同时测试的被测器件的组合。

根据本发明的第二方式，提供一种程序产品，用于测试连接在测试模块上的多个被测器件，其特征在于，使计算机执行包括以下步骤的处理：(a)至少根据上述测试模块与上述多个被测器件的连接关系来生成上述多个被测器件的组合中的、理论上能够同时测试的被测器件的组合数据；和(b)从在上述步骤(a)中生成的上述组合数据中依次选择实际上同时测试的被测器件的组合，测试上述多个被测器件。

附图说明

图1是用于说明本发明一个实施方式的测试方法的图。

图2是用于说明本发明一个实施方式的程序产品的图。

图3是表示本发明一个实施方式的测试模块与被测器件的连接关系的一例的图。

图4是表示在图3所示的结构中按每个段不能同时测试的被测器件的组合的图。

图5是表示在图3所示的结构中理论上能够同时测试的被测器件的组合的图。

图6是本发明一个实施方式的测试方法的流程图。

具体实施方式

下面，参照附图，通过本发明的实施方式来说明本发明，但以下的实施方式并不限定权利要求书中的发明，并且，在实施方式中说明的所有特征的组合不一定是发明的解决手段所必需的。

图1是用于说明本发明一个实施方式的测试方法的图。在本实施方式中，使用图1所示的测试装置10来测试多个被测器件(DUT：Device Under Test)20。具体而言，测试装置10生成预定的测试信号来提供给DUT20，并根据结果信号是否与期待值一致来判断DUT20是否良好，其中结果信号是用于输出DUT20根据测试信号而运行的结果的信号。本实施方式的测试装置10通过开放式体系结构(Open Architecture)来实现，作为向DUT20提供测试信号的测试模块150，能够使用基于开放式体系结构的模块。