[发明专利]用于测量仪的光学传感器元件及其测量仪侧耦接件

权利要求书

1.一种用于测量仪、尤其是坐标测量仪的光学传感器元件，其具有用于与测量仪侧耦接件(18)机械光学耦合连接的传感器元件侧耦接件(3)，

其特征在于，

所述光学传感器元件具有在传感器元件侧耦接件(3)中的光纤(22)，所述光纤具有用于与所述测量仪的光学仪器触头(34)连接的光学接口(30)，尤其用于传输用于干涉测量方法的测量光束，所述光学接口由光学传感器触头(33)构成，所述光学传感器触头具有自对中的套圈(23)，所述套圈包围所述光纤(22)的端部，其中所述套圈(23)浮动支承在所述传感器元件侧耦接件(3)中。

2.根据权利要求1所述的传感器元件，其特征在于，所述套圈(23)具有倒角(26)，用以在与所述测量仪侧耦接件(18)连接时实现自对中。

3.根据权利要求1或2所述的传感器元件，其特征在于，所述传感器触头(33)形成有磨削斜面(43)。

4.根据权利要求3所述的传感器元件，其特征在于，所述传感器触头(33)具有相对所述光纤(22)的芯扩大的光束横截面(46)，尤其是所述光束横截面(46)与所述光纤(22)的芯相比扩大了至少5倍、10倍、20倍或者50倍。

5.根据权利要求3或4所述的传感器元件，其特征在于，所述传感器触头(33)是透镜，优选是渐变折射率透镜，尤其是呈光纤形式。

6.根据权利要求3、4或5所述的传感器元件，其特征在于，所述光纤(22)是单模光纤。

7.根据前述权利要求之一所述的传感器元件，其特征在于，所述套圈(23)的末端与所述传感器触头(33)平齐。

8.根据前述权利要求之一所述的传感器元件，其特征在于，所述套圈(23)在外周面(61)上具有按规定将所述套圈(23)保持在指定取向上的定向面(62)。

9.根据前述权利要求之一所述的传感器元件，其特征在于，所述套圈(23)优选在所述光纤(22)的轴向(AR)上承受弹簧(25)的作用，以产生在所述光学接口(30)上的压紧力。

10.一种用于测量仪、尤其是坐标测量仪的测量仪侧耦接件(18)，其用于与根据权利要求1至9之一所述的传感器元件连接，

其特征在于，

所述测量仪侧耦接件(18)具有光学仪器触头(34)，所述光学仪器触头用于与所述传感器元件的光学传感器触头(33)连接，尤其用于传输用于干涉测量法的测量光束。

11.根据权利要求10所述的耦接件(18)，其特征在于，所述仪器触头(34)具有导向套(51)和带有套圈(48)的光纤(31)，所述导向套用于使所述传感器触头和所述仪器触头的套圈(23，48)自对中，其中，所述套圈(48)和所述导向套(51)浮动支承在所述耦接件(18)中。

12.根据权利要求11所述的耦接件(18)，其特征在于，所述套圈(48)和/或所述导向套(51)具有倒角(26，54)，用以在与所述传感器元件的连接过程中实现自对中。

13.根据权利要求11或12所述的耦接件(18)，其特征在于，所述光纤(31)在一端嵌固在所述套圈(48)中并被所述导向套(51)包围，其中所述导向套在轴向(AR)上超出所述套圈(48)，并且在所述导向套的自由端(88)优选在内表面(53)上设有倒角(54)。

14.根据权利要求11至13之一所述的耦接件(18)，其特征在于，所述仪器触头(34)形成有磨削斜面(44)，并且所述仪器触头具有相对所述光纤(31)的芯扩大的光束横截面(46)。

15.根据权利要求11至14之一所述的耦接件(18)，其特征在于，所述导向套(51)的内表面(53)具有带有径向偏差的圆度，所述径向偏差小于所用光纤的芯直径，尤其是所述径向偏差最大为2μm。