[发明专利]活动结构及使用该活动结构的微镜器件

权利要求书

1.一种活动结构，包括：活动板；梁状铰接单元，其可摆动地枢轴安装所述活动板；以及框架单元，其支持所述铰接单元，其中

所述铰接单元的每一个具有梯状物形状，所述梯状物形状具有一对支架和跨接在所述一对支架之间的过梁，以及

在平面视图中所述一对支架被布置成相互不平行。

2.根据权利要求1所述的活动结构，其中在平面视图中所述一对支架不具有被布置成相互平行的边。

3.根据权利要求1或2所述的活动结构，其中在厚度方向上，所述一对支架和所述过梁的顶面和底面分别形成在与所述活动板的顶面和底面相同的水平面上。

4.根据权利要求1到3中任意一项所述的活动结构，其中所述过梁被布置成不垂直于所述支架。

5.根据权利要求1到4中任意一项所述的活动结构，其中所述铰接单元的每一个具有与所述活动板结合的第一端部和与所述框架单元结合的第二端部，在所述第一端部与所述活动板的结合角处以及在所述第二端部与所述框架单元的结合角处形成有倒角。

6.根据权利要求1到5中任意一项所述的活动结构，其中在所述支架和所述过梁的结合角处形成有倒角。

7.根据权利要求1到6中任意一项所述的活动结构，其中所述铰接单元的每一个具有一组过梁，所述过梁在所述一对支架之间相互交叉并结合。

8.根据权利要求7所述的活动结构，其中所述铰接单元的每一个具有多组过梁，所述多组过梁的每一组以彼此不同的角度交叉。

9.根据权利要求1到6中任意一项所述的活动结构，其中以曲线的形式形成所述一对支架。

10.根据权利要求9所述的活动结构，其中所述曲线是悬链线。

11.一种微镜器件，所述微镜器件包括权利要求1到10中任意一项所述的活动结构，其特征在于，

所述活动板具有用于反射光的镜面，以及

在所述活动板的一部分和所述框架单元与所述活动板的所述部分相对的一部分上，设置有用于可摆动地驱动所述活动板的电极。

12.一种微镜器件，所述微镜器件包括权利要求3所述的活动结构，其特征在于，

所述活动板具有用于反射光的镜面，以及

在所述活动板的一部分和所述框架单元与所述活动板的所述部分相对的一部分上，设置有用于可摆动地驱动所述活动板的电极，所述电极被设置成垂直于所述活动板并且相互平行。