[发明专利]石英玻璃坩埚无效
| 申请号： | 200980104583.X | 申请日： | 2009-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN101970362A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 神田稔 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种提拉硅单结晶用的石英玻璃坩埚，其特征在于：具备由天然石英玻璃形成的外表面层，以及由合成石英玻璃形成的内面层，直筒部具有朝向上方并向外侧展开的形状，角部的上述内面层的最大层厚是在该位置上的上述角部壁厚的20％以上～80％以下，上述直筒部及底部的上述内面层薄于上述角部的上述内面层的最大层厚。
2.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：上述直筒部的下端和上端的内径差是0.1％以上。
3.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：从上述直筒部的上端到上述角部的范围具有朝向上方并向外侧展开的形状。
4.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：从上述直筒部的上端起50mm以内的范围是垂直部分，从上述垂直部分下端到角部的范围具有朝向上方并向外侧展开的形状。
5.如权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于：上述直筒部的壁厚朝向上端部逐渐变薄。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本超精石英株式会社，未经日本超精石英株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980104583.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
