[发明专利]丝极放电离子源

权利要求书

1.一种丝极放电离子源(1)，包括：电离室(3)，所述电离室(3)设置有内壁，并且配置为容纳待电离的气体；丝极(13)，所述丝极(13)布置在所述电离室(3)中；以及电源(19)，所述电源(19)向所述丝极供电，所述丝极放电离子源(1)的特征在于：所述丝极(13)布置为彼此基本上平行，并穿过所述内壁而连接所述电源(19)，至少一个第一丝极穿过第一内壁而连接至所述电源，至少一个第二丝极穿过与所述第一内壁相对的第二内壁而连接至所述电源。

2.根据权利要求1所述的离子源，其中，第一丝极相邻于至少一个第二丝极。

3.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述电源(19)配置为提供小于每厘米丝极长度1安培的电流。

4.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述丝极(13)平行于所述电离室的轴和/或加速室的轴。

5.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，两条所述丝极之间的最小距离大于所述丝极的直径的40倍，优选地为50倍。

6.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述电离室(3)的最小内周长大于常量、所述电离室(3)中的丝极(13)的数量、丝极(13)的直径和代表存在于所述电离室(3)中的气体的原子量的参数的乘积。

7.根据权利要求6所述的离子源，其中，所述电离室(3)的最小内周长大于所述电离室(3)中的丝极(13)的数量、丝极(13)的直径和存在于所述电离室(3)中的气体的原子量的平方根的乘积的100倍。

8.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述丝极(13)包含具有高于2000K的熔点的金属。

9.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述丝极(13)具有在0.1至0.5mm之间的直径，优选地具有在0.15至0.3mm之间的直径。

10.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述电离室(3)中的待电离气体的压强在0.5至1Pa之间，优选地在1至20Pa之间。

11.根据前述权利要求任意之一所述的离子源，其中，所述待电离气体包含氦气和5％至25％优选地5％至15％的氖气。