[实用新型]抛光台装置无效
申请号: | 200920254928.7 | 申请日: | 2009-12-10 |
公开(公告)号: | CN201573110U | 公开(公告)日: | 2010-09-08 |
发明(设计)人: | 陈波;柳滨;王伟 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;H01L21/302 |
代理公司: | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人: | 董金国 |
地址: | 河北省三河市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 装置 | ||
1.一种抛光台装置,它包括大理石抛光台、散热盘、主传动轴以及由三者构成的冷却液循环系统,其特征是所述的散热盘(2)的下端面与机体(6)间设有一推力轴承(7),推力轴承(7)的上轴承座与散热盘(2)共为一体,推力轴承(7)的下轴承座(8)与机体(6)固定。
2.根据权利要求1所述的抛光台装置,其特征在于推力轴承(7)外侧设有防尘罩(5),防尘罩(5)与下轴承座(6)固定。
3.根据权利要求1所述的抛光台装置,其特征在于所述冷却液循环系统中的主传动轴(11)为中空轴,其上端与一连接密封盘(13)及一液体分配法兰(14)固定,散热盘(2)与液体分配法兰(14)固定,大理石抛光台(1)与散热盘(2)固定,散热盘(2)上端面上设有呈辐射状均布的多个扇形凹槽(22c),扇形凹槽(22c)相互间的隔板上设有供凹槽相互间连通的连通口(23),中空的主传动轴(11)心部固定有过水芯轴(12);过水芯轴(12)的进水孔(22a)经液体分配法兰(14)的导流孔(22b)与散热盘(2)上的扇形凹槽(22c)连通,过水芯轴(12)的出水孔(22h)与散热盘(2)上的扇形凹槽(22c)的出水口(22d)连通,并构成冷却液循环回路。
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