[实用新型]石英玻璃制品高效退火设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石英玻璃制品的退火设备，尤其涉及一种石英玻璃制品高效退火设备。

背景技术

石英玻璃以其高纯、耐高温、高的热稳性、高的光透过、良好的化稳性和低的热膨胀等一系列优良的理化性能而成为一种重要的基础材料，广泛用于微电子、光纤通讯、电子半导体、信息技术、激光、传感技术、仪器仪表等高新技术领域。而这些领域对所需用的石英玻璃均提出了极高的质量要求：原材料高纯度、几何尺寸的高精度、内在质量的高均匀。内在质量的高均匀性指标之一即是：石英玻璃制品的高光学均匀性，反映在技术指标上就是玻璃的低双折射或应力。为此石英玻璃需满足的条件之一即无应力，而常规工艺下制备的石英玻璃均存在着较大的热应力，严重影响其在高质量要求场合的应用。

石英玻璃中的应力分为两种，一是机加工(切、车、磨)过程中产生的机械应力，此应力通常用HF酸处理即可消除；另一种是因热历史的变化而引起的热应力，此应力必须采用合理的热处理制度及退火设备方可消除。

不同的石英玻璃制品因规格尺寸、形状的各异，相应采用退火设备的内部结构也不尽相同，合理的内部结构直接影响到退火的效果和生产效率。

如图1所示，现有技术中石英玻璃的退火设备的退火只是根据炉子的底面尺寸，炉膛1单层摆放所需退火的石英玻璃制品2，一般为4只/炉。

上述现有技术至少存在以下缺点：

炉膛1内空间均未有效利用，既浪费了电能，也不利于批量和规模化生产，且炉膛1内空气对流严重，温差大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高效节能、炉内温差小的石英玻璃制品高效退火设备。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

本实用新型的石英玻璃制品高效退火设备，包括炉膛，所述炉膛内设有多个分割炉管，每个所述分割炉管内设有放置一只石英玻璃制品的空间。

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型所述的石英玻璃制品高效退火设备，由于炉膛内设有多个分割炉管，每个分割炉管内设有放置一只石英玻璃制品的空间。采用炉膛分割方式，可以实现高效节能、规模化生产，使退火工序的效率提高数倍以上；炉膛内空间有效利用，且炉膛内空气对流减轻、温差小。

附图说明

图1为现有技术中石英玻璃制品退火设备的结构示意图；

图2为本实用新型石英玻璃制品高效退火设备的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的石英玻璃制品高效退火设备，其较佳的具体实施方式如图2所示，包括炉膛1，炉膛1内设有多个分割炉管4，每个分割炉管4内设有放置一只石英玻璃制品2的空间。

多个分割炉管4在炉膛内矿冶水平放置，可以多层放置。

分割炉管4内设有多个放置石英玻璃制品的垫托3，如可以设置3个垫托3，使玻璃制品形成3点支撑，减少接触点间跨度以避免退火时产生弯曲。

实施例中，炉膛1内的有效空间可以为：400×400×1800mm。炉膛1内可以放置14-24个分割炉管4。

具体实施例的技术指标：

(1)炉体有效空间：400×400×1800mm；

(2)温度控制精度：±1℃；

(3)L700mm以下制品≥24支/炉，L1000mm以上制品≥14支/炉；

(4)弯曲度超标率≤3％；

(5)单炉退火处理的产能由100只、件/月扩大到原来的5倍即500只、件/月。

本实用新型采用炉膛分割方式，可以实现高效节能、规模化生产，使退火工序的效率提高数倍以上；炉膛内空间有效利用，且炉膛内空气对流减轻、温差小，使制品的变形率大幅度降低；同时大大降低炉膛内气氛、杂质等对石英制品的污染。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。