[实用新型]全自动硅粉硅尘过滤器

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种过滤装置。

背景技术：

现有的多晶硅制造工艺中，需要对硅粉硅尘进行过滤处理，现有的过滤装置，采用纤维式滤件，表面易形成气膜造成气阻，工作性能不理想。

发明内容：

本实用新型的目的在于提供一种结构合理，工作性能好的全自动硅粉硅尘过滤器。

本实用新型的技术解决方案是：

一种全自动硅粉硅尘过滤器，其特征是：包括壳体，壳体上设置进气口，进气口部位的筒体内设置锥形旋风筒，进气口与锥形旋风筒之间为锥形旋风空间，锥形旋风筒上方设置过滤装置，过滤装置上方的壳体上设置出气口、反冲洗吹口，壳体下端设置排污口、反冲洗吹扫口。

过滤装置包括上、下管板，上、下管板之间设置烧结滤芯，烧结滤芯为楔形结构，由孔径较大的支撑层和孔径较小的过滤层组成。

在壳体下部设置振动清扫器。壳体上部设置放空口。

本实用新型结构合理，采用旋风沉降分离将过滤介质中大颗粒首先分离，然后再经过金属烧结滤芯进行精细过滤，过滤效果好，不发生堵塞，可有效破坏泡沫的弹性凝胶层，避免气阻问题。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型一个实施例的结构示图。

具体实施方式：

一种全自动硅粉硅尘过滤器，包括壳体1，壳体上设置进气口2，进气口部位的筒体内设置锥形旋风筒3，进气口与锥形旋风筒之间为锥形旋风空间4，锥形旋风筒上方设置过滤装置，过滤装置上方的壳体上设置出气口5、反冲洗吹口6，壳体下端设置排污口7、反冲洗吹扫口8。

过滤装置包括上、下管板9、10，上、下管板之间设置烧结滤芯11，烧结滤芯为楔形结构，由孔径较大的支撑层和孔径较小的过滤层组成。

在壳体下部设置振动清扫器12。壳体上部设置放空口13。