[实用新型]一种洁净室

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种洁净室，可应用于生物、食品、化工、电子工业、精密机械工业、制药工业等高科技行业中。

【背景技术】

洁净室，亦称为无尘室，是指在一定空间范围内将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物减少到规定指标下，将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内而特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。洁静度一级表示每立方英尺室内的空气所含有大或等于0.5um的灰尘粒子不超过1颗；洁净室10级则为不超过10颗；洁净室100级、1000级......依次类推。

我国净化行业原先所安装的百级洁净室，主要适用于医药生产企业，洁净室的温湿度是由组合式净化空调器控制和调节的。然而，随着科技日新月异的发展，尤其是集成电路生产技术的发展，集成电路芯片生产的线宽由0.45微米发展到0.11微米，甚至由微米级向纳米级发展，温度的变化可能影响生产工艺，导致成品率下降；同时，由于其生产工艺对洁净度的要求很高，使得其洁净室内排风量比较大。因此，这种洁净室需要通过高精度的温度控制，来消除温度变化对生产的影响。如果用传统的组合式空调器调温的方式，要达到洁净室内高精度的温度及洁净度的控制是很困难的。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种气密性好、洁净度与温湿度控制精度高的洁净室。

本实用新型采用以下技术方案解决上述技术问题：

一种洁净室，包括四面隔墙、天花板、地面，所述四面隔墙及天花板均采用两层夹板中间内衬阻燃芯材；地面采用防静电PVC地板或环氧树脂涂层地板。

所述夹板是彩钢板。

所述天花板上设置有过滤系统。

本实用新型的优点在于：此种结构洁净室隔间的气密性较好，过滤系统对温湿度及洁净度控制精度高。

【附图说明】

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1是本实用新型洁净室隔墙及天花板的横截面图。

【具体实施方式】

一种洁净室，包括四面隔墙、天花板、地面；请参阅图1所示，是隔墙及天花板的横截面图。四面隔墙及天花板均采用两层夹板1中间内衬阻燃芯材2；两层夹板1可以选用彩钢板。地面采用防静电PVC地板或环氧树脂涂层地板。

该洁净室可视门窗采用福耀钢化玻璃，边上采用铝合金组件装饰固定。

所述天花板上设置有过滤系统。过滤系统包括空调系统、送排风装置、过滤装置、风管(图未示)。过滤装置可根据具体实际情况选用低、中、高效过滤装置。工作时由进风口将微尘吸入，通过过滤系统过滤，再由空调系统冷却，即由送风口将风送出，效果是可以将洁净室里的微尘进行循环的通过此系统过滤，可达到10万级、万级、百级。

本实用新型所述洁净室隔间的气密性较好，过滤系统对温湿度及洁净度控制精度高。