[实用新型]一种清洗篮具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗篮具，尤其涉及一种与电子设备配套使用的清洗篮具。

背景技术

清洗技术广泛应用于汽车、电子、化学、机械等多个制造行业，特别对于一些精密的行业，清洗技术关系到产品的良品率，十分重要。例如半导体、液晶显示、太阳能电池行业等行业，多个工序中反复用到清洗技术。清洗技术有几个关键点决定清洗效果的好坏，包括环境、清洗剂、清洗用水、工艺参数和篮具。

很多时候，篮具设计的好坏对良品率关系密切，各类形状的篮具设计也层出不穷，现有技术的篮具设计都有以下共同点，如图1所示，在侧壁11上开设多个卡槽12，被清洗工件10插入卡槽，然后放入清洗设备中进行清洗。针对一般的清洗工艺，以这种结构为框架的清洗篮具都能满足要求。但是在需要精密清洗行业，随着对清洗的要求越来越高，特别是很多清洗工件越来越大，现有的清洗篮具便暴露出以下缺点：侧壁为实体，阻碍了清洗中液体的循环流动，进而影响被清洗工件的包括均匀度、表面特性等清洗效果，如硅片酸洗过程中，液体循环不畅清洗后的硅片厚度不均匀而且存在表面瑕疵；卡槽为矩形，使得进入卡槽的液体流动性很差，清洗下来的沉淀物不能及时排走，进而影响被清洗工件边缘清洗效果，例如液晶玻璃酸洗过程中，反应生成物在边缘堆积而使边缘厚度与其它部分厚度不均形成凸起；而且，如果清洗工件很大，这种实体侧面结构使用了大量昂贵的材料，造价昂贵。

发明内容

鉴于现有技术中的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种清洗篮具，使得液体循环流畅，边缘清洗效果好而且节省材料。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种清洗篮具，包括相对设置的两个空腔框体和设置在两个空腔框体之间的数根卡条；每根卡条的两端连接在框体上，在每根卡条上设置有数个卡槽，卡槽宽度在沿卡条表面到卡条轴心方向上递减。

本实用新型具有如下有益效果：使液体循环无障碍流动，与卡槽接触处的液体也能充分流动，进而使得被清洗工件的厚度均匀度、表面特性和边缘清洗效果良好，而且节省了材料。

附图说明

图1为传统清洗篮具的立体结构示意图；

图2为本实用新型篮具实施例的立体结构示意图；

图3为图2中卡条的放大立体结构示意图；

图4为图3中的卡条沿轴方向的截面图；

图5为本实用新型篮具实施例二的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的清洗篮具实施例。

实施例一：

如图2至图4所示，一种清洗篮具由相对设置的两个空腔框体21和设置在两个空腔框体之间的数根卡条22组成，所述每根卡条22的两端连接在空腔框体21上，卡条22为圆柱状或长方体状，在所述每根卡条22上设置有数个卡槽221，所述卡槽221的宽度在沿卡条表面到卡条22轴心方向上递减，卡槽221为倒梯形或圆弧形，是一个绕卡条22的轴心一周的环形槽，卡槽深度为3～10毫米。

本实施例所述的清洗篮具，可应用于太阳能、半导体等行业的硅片酸洗、水洗工序或液晶行业的玻璃基板酸洗、水洗工序，能使被清洗硅片或玻璃基板厚度均与度良好，特别是边缘清洗效果较现有技术篮具大为改善，有效地解决了边缘凸起或污物堆积的难题。同时，节省了制造这些篮具的昂贵的如PVDF、PP、不锈钢等材料。

实施例二：

如图5所示，在实施例一的基础上，本实施例在空腔框体21顶部增加了一个弯部51，在空腔框体21上部增加了卡条位置调节孔52。

本实施例所述的清洗篮具，通过弯部51使得篮具和移载该篮具的装置很轻松地结合，使用更加方便；同时，增加了卡条位置调节孔52使得该篮具能适应不同尺寸的被清洗工件，使得清洗篮具具有更好的通用性。