[实用新型]晶片清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶片的清洗装置，尤其涉及一种可免除对晶片载盘繁琐的定位过程，操作方便的晶片清洗机。

背景技术

晶片在制程中所沾附的化学药剂或杂质，必须经由清洗机适时予以清洗。但现有清洗机的清洗程序，并无治具可供晶片载盘直接定位，使得晶片载盘的定位过程甚是麻烦，故操作很不方便。

发明内容

为了克服现有晶片清洗机存在的对晶片载盘定位过程很麻烦，操作非常不方便的缺点，本实用新型提供一种晶片清洗机，其治具可供晶片载盘直接插置定位，并可直接嵌置定位于清洗筒的转盘，可免除繁琐的定位过程，具有操作方便的功效。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶片清洗机，其特征在于，其包括一机架；一清洗筒，是设置于机架上，其底缘设有下凸缘；一盖体，其一侧缘借助转轴枢设于清洗筒上缘，内面设置有清洗部件；一转盘，是安装于清洗筒内底部；一马达，是设置于所述清洗筒的下方，该马达的上部设有上凸缘，借助该上凸缘利用螺丝与该清洗筒底缘的下凸缘固定一体，而马达的输出轴向上穿过设置于清洗筒底部的防水套后，该输出轴的轴端锁定在所述转盘底缘，启动马达，马达通过输出轴驱动转盘旋转；数个定位体，是对称固定于前述转盘的表面，该数个定位体相向侧上缘形成有凸唇，凸唇与转盘之间构成嵌槽；数个限位柱，是对称固定于转盘表面的边缘；数个治具，是设置于转盘的表面上，该数个治具分别直接嵌置于相邻定位体间的相对应的嵌槽中，每个治具的中央设有供晶片载盘插置的插槽，顶面则形成有槽孔，侧面与底面分别设有侧流通孔与底流通孔，而端面下缘对应该定位体与转盘间构成的嵌槽设有嵌体。

前述的晶片清洗机，其中治具由一底座与一上盖拼组而成。

前述的晶片清洗机，其中盖体顶面设有掀把。

本发明的优点和有益效果在于，其治具可供晶片载盘直接插置定位，并可直接嵌置定位于清洗筒的转盘，可免除繁琐的定位过程，具有操作方便的功效。

附图说明

图1是本实用新型的外观立体示意图；

图2是本实用新型纵剖视结构图；

图3是图2所示3-3剖线的剖视图；

图4是本实用新型的治具嵌置状态示意图；

图5是本实用新型治具供晶片载盘插置的状态示意图；

图6是本实用新型治具的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

首先，请参阅图1至图3所示，本实用新型包括：

一机架10；

一清洗筒11，是设置于机架10上，其底缘设有下凸缘111；

一盖体12，其一侧缘借助转轴120枢设于清洗筒11上缘，内面设置有清洗部件，本实施例中的清洗部件为清洗液喷嘴121；

一转盘13，是安装于清洗筒11内的底部；

一马达14，是设置于前述清洗筒11的下方，该马达14的上部设有上凸缘141，借助该上凸缘141利用螺丝142与该清洗筒11底缘的下凸缘111固定一体，而马达14的输出轴向上穿过设置于清洗筒11底部的防水套112后，该输出轴的轴端锁定在前述转盘13底缘，启动马达14，马达14通过输出轴驱动转盘13旋转；

数个定位体15，是对称固定于前述转盘13的表面，该数个定位体15相向侧上缘形成有凸唇151，凸唇151与转盘13之间构成嵌槽152，如图4所示；

数个限位柱16，是对称固定于转盘13表面的边缘；

请参阅图5、6，数个治具17，是设置于转盘13的表面上，该数个治具17分别直接嵌置于相邻定位体15间的相对应的嵌槽152中，每个治具17的中央设有供晶片19载盘18插置的插槽171，其顶面则形成有让晶片19显露的槽孔172，侧面与底面分别设有侧流通孔173与底流通孔174，而端面下缘对应该定位体15与转盘13间构成的嵌槽152设有嵌体175。

前述治具17是由一底座17a与一上盖17b拼组而成；

前述盖体12顶面设有掀把122。