[实用新型]在聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯复合板上的减反射膜

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯(以下简称MR58PC/PMMA)复合板上的减反射(AR)膜及制备方法，它属于真空镀膜的技术领域。

背景技术

现有手机视窗等平板显示器的AR减反射屏大都是在玻璃或PMMA表面上来镀减反射膜层的。由于玻璃存在着易碎和碎后对人体产生伤害等问题，所以手机视窗和手机照相机保护屏上使用具有AR减反射膜的MR58PC/PMMA复合板材有着很大的优势。尽管MR58PC/PMMA复合板材存在着放气严重的问题，在该复合板材上真空AR减反射膜还存在着种种难点，因此，如何解决MR58PC/PMMA复合板材材料放气以及有机物污染的影响，寻求一种简单有效的在MR58PC/PMMA复合板材上面制备AR减反射膜的方法，就是业界研究和改进的方向。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种工艺简单，加工成本低，镀膜质量好的MR58PC/PMMA复合板材

本实用新型的目的是这样实现的：

本实用新型的MR58PC/PMMA复合板3上的减反射膜，其中，减反射膜由二层组成，从靠基材开始依次是：第一层氟化镁1，第二层三氧化二铝2。

在MR58PC/PMMA复合板上的减反射膜，一层厚度为80-120nm的氟化镁薄膜；第二层厚度为35-45nm的三氧化二铝薄膜。

本实用新型的在MR58PC/PMMA复合板上的减反射膜，步骤如下：

1)将MR58PC/PMMA复合板材进行真空除湿状态下烘烤，真空度为1×10^-2Torr-1×10^-3Torr，温度60-70度，连续持续时间1-3小时；

2)将烘烤后的MR58PC/PMMA复合板材装入电子枪真空镀膜机内，进行高真空抽气，同时工作温度为-120℃至-165℃的深冷低温机辅助抽气，将残留在片材表面的水分和材料出气彻底清除；

3)当真空度低于3×10^-5torr时，无阴极离子源打开，对材料表面进行清洁处理和表面活化，时间为60s-120s之间；

4)打开加热器加热，使真空室内温度保持在60-80度；

5)关闭离子源后继续抽高真空，当到达低于3×10^-5torr时，先打开坩埚电子枪中的氟化镁坩埚加热至蒸发温度，蒸发出来的氟化镁沉积在基材表面，当氟化镁的沉积厚度达到设定值时；坩埚电子枪中的三氧化二铝坩埚加热，三氧化二铝的沉积厚度达到设定值时关闭电子枪，每一层沉积的同时应该打开离子源进行辅助；

6)在离子源对材料进行表面活化清洗时应该使用氧气，流量范围是：15-30sccm；在镀膜时进行离子辅助时氧气流量为10-20sccm；电子枪蒸发过程中通氧气，流量为10-15sccm。

如有需要，可以在完成上述镀膜后，基片架可以在真空状态下自动翻转，重复上述3)-6)的镀膜工艺，具有双面镀减反膜。

本实用新型通过镀膜前对MR58PC/PMMA复合板材的处理和合理的气体流量以及低于-120℃度深冷低温机的使用，成功地解决了板材放气以及材料表面的氧化物对膜层的影响。实施在MR58PC/PMMA复合板材AR减反射膜，不仅可以在手机视窗上使用，还可以在数码相机镜头保护屏和各类便携式信息产品的液晶显示器保护屏上使用；其有益效果在于，通过本实用新型提供的工艺对MR58PC/PMMA复合板材进行AR减反射镀膜，可以得到单面反射率在1.5％以下的良好减反射效果，既可以单面镀减反膜，也可以双面镀减反膜，使液晶显示器的图像更清晰，尤其在室外场所效果更好。

附图说明

图1：本实用新型在MR58PC/PMMA复合板上的单面减反射膜示意图。

图2：本实用新型在MR58PC/PMMA复合板上的双面减反射膜示意图。

具体实施方式

下面结合实例对本实用新型进行进一步的说明：

实例1