[实用新型]一种快速抽真空装置

说明书

技术领域

本实用新型属于抽真空技术领域，具体涉及镀膜机真空系统的一种快速抽真空装置。

背景技术

在镀膜机真空系统结构中多采用罗茨泵抽真空，罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许起动的入口压力时罗茨泵才可以开始工作。现有的抽真空系统采用一个机械泵与罗茨泵串联进行预抽真空，这种连接结构在启动时先由机械泵工作，通过罗茨泵进行抽气，由于罗茨泵内的间隙很小，对机械泵的抽气形成了阻力，使机械泵的抽气效率降低，延长了抽气时间，增加了工作能耗。

发明内容：

为解决现有技术存在的上述缺陷，本实用新型目的在于提供一种抽气效率高，作业能耗低的一种快速抽真空装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案：该快速抽真空装置具有罗茨泵和与罗茨泵串联的第一机械泵，其特征在于：所述罗茨泵还串联有第二机械泵，在第二机械泵的抽气口安装一个挡板阀，在罗茨泵的溢流阀的位置增加一个阀门，阀门连接在汽缸的活塞杆上，在溢流阀的内侧壁上开设有连通罗茨泵吸气口的通气口。

采用上述技术方案的有益效果：该快速抽真空装置具有罗茨泵和与罗茨泵串联的第一、第二机械泵，在罗茨泵的溢流阀的位置增加一个阀门，由于在罗茨泵的溢流阀的位置增加一个由汽缸控制的阀门，在溢流阀的内侧壁上开设有连通罗茨泵吸气口的通气口，在高真空抽气阶段，此时罗茨泵没有启动，汽缸将阀门提起打开，在罗茨泵吸气口和溢流阀之间形成由阀门控制开启的吸气通道，两个机械泵同时工作，机械泵通过罗茨泵溢流阀部位进行排气，它可以增快粗抽阶段的抽气速度，使抽气效率有很大的提高，且结构优化，解决了现有技术中机械泵刚开始工作时从罗茨泵间隙抽气阻力大的问题，降低了能耗，在资源的使用上有很大的节约。当双机械泵抽到罗茨真空泵允许起动的入口压力时，挡板阀关闭时，相连的第二机械泵停止工作，罗茨泵才可以开始工作，此时只有第一机械泵工作，达到节能的效果。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施例做进一步详细的说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示的快速抽真空装置，具有罗茨泵1，罗茨泵具有一个吸气口2和两个排气口，吸气口连接镀膜机补抽气空间，排气口分别串联有第一机械泵7和第二机械泵8，在第二机械泵的抽气口安装一个挡板阀10，在罗茨泵的溢流阀6的位置增加一个阀门5，阀门5连接在汽缸4的活塞杆上，汽缸可控制阀门5的开启，在溢流阀6的内侧壁上开设有连通罗茨泵吸气口2的通气口3，在罗茨泵吸气口2和溢流阀6之间形成由阀门3控制开启的吸气通道。当罗茨泵工作时，阀门3关闭，当罗茨泵关闭，阀门3打开，同时打开挡板阀10，两个机械泵同时工作快速抽气，双机械泵的吸气绕开罗茨泵的间隙，通过在阀开3打开形成的吸气通道进行吸气，吸气阻力小，抽真空的效率高。