[实用新型]一种多晶硅铸锭炉用石英坩埚无效
| 申请号： | 200920029604.3 | 申请日： | 2009-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN201506853U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张志勇 | 申请（专利权）人： | 济宁凯伦光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C01B33/02;C30B28/06;C30B29/06;F27B14/10 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 273517 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 石英 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述石英坩埚的埚壁具有复合层结构。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述复合层结构至少包括三层，依次为石英层(3)、泡沫陶瓷层(2)与保护涂层(1)。
3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述保护涂层(1)为氮化硅涂层。
4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述保护涂层(1)的厚度为2-4mm。
5.根据权利要求2-4中任意一项所述的多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述泡沫陶瓷层(2)的孔隙率为80％-90％。
6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉用石英坩埚，其特征在于：所述泡沫陶瓷层(2)的孔隙率为85％。
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