[发明专利]离子管有效
| 申请号： | 200910262401.3 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101764020A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 长田佑介;盐野忠久 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子管，具有由阴极（10）和阳极（20）构成的等离子体 生成构件，以及从由该等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子 束的栅极（30），其特征在于，
该阴极由架设于一对丝电极之间的丝极（12）构成，该栅极具有 平行地排列在该丝极上的多个离子束引出孔（31），该多个离子束引 出孔沿与该丝极相同的方向排列在由阳极划定的区域内部，该阳极与 该丝极平行地对置配置，
包含该丝极的两端部（12a）的单位空间内的发热量比包含该丝极 的中央部（12b）的单位空间内的发热量大。
2.根据权利要求1所述的离子管，其特征在于，
所述丝极的两端部卷绕成线圈状。
3.根据权利要求1所述的离子管，其特征在于，
所述丝极的两端部被弯曲。
4.一种离子管，具有由阴极（10）和阳极（20）构成的等离子体 生成构件，以及从由该等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子 束的栅极（30），其特征在于，
该阴极由架设于一对丝电极之间的丝极（12）构成，该栅极具有 平行地排列在该丝极上的多个离子束引出孔（31），该多个离子束引 出孔沿与该丝极相同的方向排列在由阳极划定的区域内部，该阳极与 该丝极平行地对置配置，
相对于该丝极的中央部，两端侧紧密地卷绕。
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